Awọn abuda kan ti magnetron sputtering bo
(3) Agbara kekere sputtering. Nitori foliteji cathode kekere ti a lo si ibi-afẹde, pilasima naa jẹ adehun nipasẹ aaye oofa ni aaye nitosi cathode, nitorinaa ṣe idiwọ awọn patikulu agbara agbara-giga si ẹgbẹ ti awọn eniyan sobusitireti shot. Nitorinaa, iwọn ibaje si sobusitireti gẹgẹbi awọn ẹrọ semikondokito ti o fa nipasẹ bombardment patiku ti o gba agbara jẹ kekere ju eyiti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn ọna sputtering miiran.
(4) Low sobusitireti otutu. Oṣuwọn sputtering sputtering Magnetron jẹ giga, nitori ibi-afẹde cathode ni aaye oofa laarin agbegbe naa, iyẹn ni, oju opopona itusilẹ ibi-afẹde laarin agbegbe agbegbe kekere ti ifọkansi elekitironi jẹ giga, lakoko ti o wa ni ipa oofa ni ita agbegbe naa, ni pataki kuro ni aaye oofa ti dada sobusitireti nitosi, ifọkansi elekitironi nitori pipinka ti isalẹ pupọ, ati pe o le paapaa jẹ kekere ti gaasi ti n ṣiṣẹ (dipoca) ti aṣẹ titobi). Nitorinaa, labẹ awọn ipo sputtering magnetron, ifọkansi ti awọn elekitironi bombarding dada ti sobusitireti jẹ kekere ju iyẹn ni itọka diode lasan, ati pe ilosoke pupọ ninu iwọn otutu sobusitireti ni a yago fun idinku ninu nọmba awọn iṣẹlẹ elekitironi lori sobusitireti. Ni afikun, ni ọna sputtering magnetron, anode ti ohun elo sputtering magnetron le wa ni ayika agbegbe cathode, ati dimu sobusitireti le tun jẹ alaimọ ati ni agbara idadoro, ki awọn elekitironi le ma kọja nipasẹ dimu sobusitireti ti ilẹ ati ṣiṣan lọ nipasẹ anode, nitorinaa ṣiṣe awọn elekitironi agbara-giga ti o fa ki awọn elekitironi ti o ga julọ dinku, dinku awọn elekitironi elekitironi ti o dinku, awọn elekitironi elekitironi dinku. ati ki o gidigidi attenuating awọn secondary elekitironi bombardment ti awọn sobusitireti Abajade ni ooru iran.
(5) Uneven etching ti awọn afojusun. Ni awọn ibile magnetron sputtering afojusun, awọn lilo ti ẹya uneven se aaye, ki pilasima yoo gbe awọn kan ti agbegbe convergence ipa, yoo ṣe awọn afojusun lori awọn agbegbe ipo ti sputtering etching oṣuwọn jẹ nla, awọn esi ni wipe awọn afojusun yoo gbe awọn kan significant uneven etching. Oṣuwọn iṣamulo ti ibi-afẹde jẹ gbogbogbo nipa 30%. Lati le ni ilọsiwaju oṣuwọn iṣamulo ti ohun elo ibi-afẹde, o le mu ọpọlọpọ awọn igbese ilọsiwaju, gẹgẹbi imudara apẹrẹ ati pinpin aaye oofa ibi-afẹde, nitorinaa oofa ninu gbigbe inu ibi-afẹde cathode ati bẹbẹ lọ.
Iṣoro ni sputtering awọn ibi-afẹde ohun elo oofa. Ti ibi-afẹde sputtering ba jẹ ohun elo ti o ni agbara oofa giga, awọn laini oofa yoo kọja taara nipasẹ inu ilohunsoke ti ibi-afẹde lati waye lasan kukuru-yika oofa, nitorinaa ṣiṣe itusilẹ magnetron nira. Lati ṣe ipilẹṣẹ aaye oofa aaye, awọn eniyan ti ṣe ọpọlọpọ awọn iwadii, fun apẹẹrẹ, lati saturate aaye oofa inu ohun elo ibi-afẹde, nlọ ọpọlọpọ awọn ela ni ibi-afẹde lati ṣe agbega iran jijo diẹ sii ti iwọn otutu ibi-afẹde oofa, tabi lati dinku permeability oofa ti ohun elo ibi-afẹde.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-01-2023