Awọn ohun elo gba itanna tan ina evaporation ọna ẹrọ. Awọn elekitironi ti jade lati filament cathode ati ki o dojukọ sinu lọwọlọwọ tan ina kan, eyiti o ni iyara nipasẹ agbara laarin cathode ati crucible lati yo ati yọ ohun elo ti a bo kuro. O ni awọn abuda ti iwuwo agbara giga ati pe o le yọ ohun elo ti a bo pẹlu aaye yo ti diẹ sii ju 3000 ℃. Awọn fiimu ni o ni ga ti nw ati ki o ga gbona ṣiṣe.
Ohun elo naa ni ipese pẹlu orisun evaporation elekitironi, orisun ion, eto ibojuwo sisanra fiimu, eto atunse sisanra fiimu ati eto iyipo iṣẹ agboorun iduroṣinṣin. Nipasẹ ion orisun ti a bo iranlọwọ, awọn iwapọ ti fiimu ti wa ni pọ, awọn refractive atọka ti wa ni diduro, ati awọn lasan ti wefulenti naficula nitori ọrinrin wa ni yee. Awọn kikun-laifọwọyi fiimu sisanra eto ibojuwo gidi-akoko le rii daju awọn repeatability ati iduroṣinṣin ti awọn ilana. O ti ni ipese pẹlu iṣẹ yo ara ẹni lati dinku igbẹkẹle lori awọn ọgbọn oniṣẹ.
Ohun elo naa wulo fun ọpọlọpọ awọn ohun elo oxides ati awọn ohun elo ti a bo irin, ati pe o le jẹ ti a bo pẹlu awọn fiimu opiti pipe pupọ-Layer, gẹgẹ bi fiimu AR, gigun igbi gigun, kọja igbi kukuru, fiimu didan, AS / AF fiimu, IRCUT, eto fiimu awọ, eto fiimu gradient, bbl O ti lo ni lilo pupọ ni awọn gilaasi AR, awọn lẹnsi opiti, awọn kamẹra, awọn olutọpa, bbl opitika.