יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע

די הויפּט אייגנשאַפט פון דער וואַקוום פארדאַמפּונג מעטאָדע פֿאַר דעפּאָזיטירן פילמען איז די הויכע דעפּאָזיציע קורס. די הויפּט אייגנשאַפט פון דער ספּאַטערינג מעטאָדע איז די ברייטע קייט פון בנימצא פילם מאַטעריאַלן און די גוטע איינהייטלעכקייט פון דער פילם שיכט, אָבער די דעפּאָזיציע קורס איז נידעריק. יאָן קאָוטינג איז אַ מעטאָדע וואָס קאָמבינירט די צוויי פּראָצעסן.

יאָן קאָוטינג פּרינציפּ און פילם פאָרמירונג באדינגונגען
דער ארבעטס-פרינציף פון יאן-באדעקונג ווערט געוויזן אין בילד. די וואקיום קאמער ווערט געפאמפט צו א דרוק אונטער 10-4 פא, און דערנאך אנגעפילט מיט אינערטן גאז (למשל ארגאן) צו א דרוק פון 0.1~1 פא. נאכדעם וואס א נעגאטיווער גלייכשטראם וואלטאזש פון ביז 5 קילוואט ווערט אנגעווענדעט צום סובסטראט, ווערט א נידריג-דרוק גאז-גלו-אויסלאדונג פלאזמע זאנע אויפגעשטעלט צווישן דעם סובסטראט און דעם קרוציבל. די אינערטן גאז יאנען ווערן פארשנעלערט דורך דעם עלעקטרישן פעלד און באמבארדירן די ייבערפלאך פונעם סובסטראט, אזוי רייניגנדיג די ייבערפלאך פונעם ווערק-שטיק. נאכדעם וואס דער רייניקונגס-פראצעס איז פארענדיגט, הייבט זיך אן דער באדעק-פראצעס מיט דער פארדאמפונג פונעם מאטעריאל וואס דארף באדעקט ווערן אין קרוציבל. די פארדאמפטע פארע-טיילכלעך גייען אריין אין דער פלאזמע זאנע און קאלידירען מיט די אפגעריסענע אינערטן פאזיטיווע יאנען און עלעקטראנען, און עטליכע פון ​​די פארע-טיילכלעך ווערן אפגעריסן און באמבארדירן דעם ווערק-שטיק און די באדעק-ייבערפלאך אונטער דער פארשנעלונג פונעם עלעקטרישן פעלד. אין דעם יאָן פּלייטינג פּראָצעס, איז נישט נאָר דעפּאָזיציע נאָר אויך ספּאַטערינג פון positive יאָנען אויף דעם סאַבסטראַט, אַזוי דער דין פילם קען געשאַפן ווערן נאָר ווען דער דעפּאָזיציע ווירקונג איז גרעסער ווי דער ספּאַטערינג ווירקונג.

דער יאָן קאָוטינג פּראָצעס, אין וועלכן דער סאַבסטראַט ווערט שטענדיק באַמבאַרדירט ​​מיט הויך-ענערגיע יאָנען, איז זייער ריין און האט אַ צאָל מעלות קאַמפּערד צו ספּאַטערינג און פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג.

(1) שטאַרקע אַדכיזשאַן, קאָוטינג שיכט שאָלעט נישט לייכט אַוועק.
(א) אין דעם יאָן קאָוטינג פּראָצעס, אַ גרויסע צאָל הויך-ענערגיע פּאַרטיקלען דזשענערייטאַד דורך די גלאָו דיסטשאַרדזש ווערן גענוצט צו פּראָדוצירן אַ קאַטאָדיש ספּאַטערינג ווירקונג אויף דער ייבערפלאַך פון די סאַבסטראַט, ספּאַטערינג און רייניקונג די גאַז און ייל אַדסאָרבעד אויף דער ייבערפלאַך פון די סאַבסטראַט צו רייניקן די סאַבסטראַט ייבערפלאַך ביז דער גאנצער קאָוטינג פּראָצעס איז געענדיקט.
(ב) אין דער פריער שטאפל פון באדעקן, עקזיסטירן שפריצן און אפזעצונג צוזאמען, וואס קען שאפן אן איבערגאנג שיכט פון קאמפאנענטן ביים אינטערפייס פון דער פילם באזע אדער א געמיש פון דעם פילם מאטעריאל און דעם באזע מאטעריאל, גערופן "פסעוודא-דיפוזיע שיכט", וואס קען עפעקטיוו פארבעסערן די אדכעזיע פערפארמאנס פון דעם פילם.
(2) גוטע אַרומוויקלען אייגנשאַפטן. איין סיבה איז אַז די אַטאָמען פון די קאָוטינג מאַטעריאַל ווערן יאָניזירט אונטער הויכן דרוק און קאָלידירן מיט גאַז מאָלעקולן עטלעכע מאָל בעת דעם פּראָצעס פון דערגרייכן דעם סאַבסטראַט, אַזוי אַז די יאָנען פון די קאָוטינג מאַטעריאַל קענען ווערן צעשפּרייט אַרום דעם סאַבסטראַט. אין דערצו, די יאָניזירטע אַטאָמען פון די קאָוטינג מאַטעריאַל ווערן אָפּגעלייגט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט אונטער דער אַקציע פון ​​אַן עלעקטרישן פעלד, אַזוי דער גאַנצער סאַבסטראַט ווערט אָפּגעלייגט מיט אַ דין פילם, אָבער די פארדאַמפּונג קאָוטינג קען נישט דערגרייכן דעם עפעקט.
(3) די הויכע קוואַליטעט פון דער באַדעקונג איז צוליב דעם שפּריצן פון קאָנדענסאַטן געפֿירט דורך דעם קאָנסטאַנטן באָמבאַרדירן דעם אָפּגעלייגטן פֿילם מיט פּאָזיטיווע יאָנען, וואָס פֿאַרבעסערט די געדיכטקייט פון דער באַדעקונג-שיכט.
(4) א ברייטע אויסוואַל פון קאָוטינג מאַטעריאַלן און סאַבסטראַטן קענען זיין קאָוטאַד אויף מעטאַלישע אָדער ניט-מעטאַלישע מאַטעריאַלן.
(5) קאַמפּערד צו כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD), האט עס אַ נידעריקער סאַבסטראַט טעמפּעראַטור, טיפּיש אונטער 500°C, אָבער זיין אַדכיזשאַן שטאַרקייט איז גאָר פאַרגלייַכלעך צו כעמישער פארע דעפּאַזישאַן פילמען.
(6) הויך דעפּאַזישאַן קורס, שנעל פילם פאָרמירונג, און קען קאָוטינג גרעב פון פילמען פון טענס פון נאַנאָמעטערס צו מיקראָנס.

די חסרונות פון יאָן קאָוטינג זענען: די גרעב פון די פילם קען נישט פּינקטלעך קאָנטראָלירט ווערן; די קאָנצענטראַציע פון ​​חסרונות איז הויך ווען פיין קאָוטינג איז פארלאנגט; און גאַזן וועלן אַרייַן די ייבערפלאַך בעשאַס קאָוטינג, וואָס וועט טוישן די ייבערפלאַך פּראָפּערטיעס. אין עטלעכע פאלן, קאַוויטיז און קערנס (ווייניקער ווי 1 נאַנאָמעטער) זענען אויך געשאפן.

וואָס שייך דעפּאָזיציע ראַטע, איז יאָן קאָוטינג פאַרגלייַכלעך צו דער פֿאַרדאַמפּונג מעטאָדע. וואָס שייך פֿילם קוואַליטעט, זענען די פֿילמען פּראָדוצירט דורך יאָן קאָוטינג נאָענט צו אָדער בעסער ווי די צוגעגרייט דורך ספּאַטערינג.