פּרינציפּ פון וואַקוום פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג
1, עקוויפּמענט און גשמיות פּראָצעס פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג
די וואַקוום פארדאַמפּונג קאָוטינג עקוויפּמענט איז דער הויפּט צוזאַמענגעשטעלט פון וואַקוום קאַמער און יוואַקיאַוויישאַן סיסטעם. אינעווייניק פון דער וואַקוום קאַמער, זענען דאָ פארדאַמפּונג מקור (ד"ה פארדאַמפּונג כיטער), סאַבסטראַט און סאַבסטראַט ראַם, סאַבסטראַט כיטער, אויספּוף סיסטעם, אאז"ו ו.
דער באַדעק מאַטעריאַל ווערט געשטעלט אין דער פארדאַמפּונג מקור פון דער וואַקוום קאַמער, און אונטער הויכע וואַקוום באדינגונגען, ווערט עס געהייצט דורך דער פארדאַמפּונג מקור צו פארדאַמפּן. ווען די דורכשניטלעך פרייע קייט פון די פארע מאָלעקולן איז גרעסער ווי די לינעאַרע גרייס פון דער וואַקוום קאַמער, נאָכדעם וואָס די אַטאָמען און מאָלעקולן פון דעם פילם פארע וואָס זענען אַנטלאָפן פון דער ייבערפלאַך פון דער פארדאַמפּונג מקור, ווערן זיי זעלטן געשטערט דורך די קאָליזיע פון אַנדערע מאָלעקולן אָדער אַטאָמען, און דערגרייכן גלייך די ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט וואָס דאַרף באַדעקט ווערן. צוליב דער נידעריקער טעמפּעראַטור פון דעם סאַבסטראַט, קאָנדענסירן די פילם פארע פּאַרטיקלען אויף אים און פאָרמירן אַ פילם.
כּדי צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן פֿון פֿאַרדאַמפּונג מאַלעקולן און סאַבסטראַט, קען דער סאַבסטראַט אַקטיוויזירט ווערן דורך געהעריק הייצונג אָדער יאָן רייניקונג. וואַקוום פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג גייט דורך די פֿאָלגנדיקע פֿיזישע פּראָצעסן פֿון מאַטעריאַל פֿאַרדאַמפּונג, טראַנספּאָרטאַציע ביז דעפּאָזיציע אין אַ פֿילם.
(1) ניצנדיק פארשידענע וועגן צו פארוואנדלען אנדערע פארמען פון ענערגיע אין טערמישע ענערגיע, ווערט דער פילם מאטעריאל געהייצט צו פארדאמפן אדער סובלימירן אין גאז-פארטיקלען (אטאמען, מאלעקולן אדער אטאמישע קלאסטערס) מיט א געוויסע מאס ענערגיע (0.1 ביז 0.3 eV).
(2) גאז-פארטיקלען פארלאזן די ייבערפלאך פון דעם פילם און ווערן טראנספארטירט צו דער ייבערפלאך פון דעם סובסטראט מיט א געוויסער שנעלקייט פון באוועגונג, אין עיקר אן קיין קאליזיע, אין א גלייכער ליניע.
(3) די גאַזאַרטיקע פּאַרטיקלען וואָס דערגרייכן די ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט קאָאַלעסירן און נוקלעאַטירן, און דערנאָך וואַקסן אין אַ האַרטע-פאַזע פילם.
(4) רעארגאניזאציע אדער כעמישע פארבינדונג פון די אטאמען וואס מאכן אויס דעם פילם.
2, פארדאַמפּונג באַהיצונג
(1) קעגנשטעל היץ פארדאַמפּונג
קעגנשטעל הייצונג פארדאַמפּונג איז די פּשוטסטע און מערסט אָפט געניצטע הייצונג מעטאָדע, בכלל אָנווענדלעך צו קאָוטינג מאַטעריאַלס מיט שמעלץ פונט אונטער 1500℃, הויך שמעלץ פונט מעטאַלס אין דראָט אָדער בויגן פאָרעם (W, Mo, Ti, Ta, באָר ניטריד, אאז"ו ו) זענען יוזשאַוואַלי געמאכט אין אַ פּאַסיק פאָרעם פון פארדאַמפּונג מקור, לאָודיד מיט פארדאַמפּונג מאַטעריאַלס, דורך די דזשול היץ פון עלעקטריש קראַנט צו צעלאָזן, פארדאַמפּן אָדער סובלימאַט די פּלייטינג מאַטעריאַל, די פאָרעם פון פארדאַמפּונג מקור דער הויפּט כולל מולטי-שטראַנד ספּיראַל, U-שייפּט, סינוס כוואַליע, דין פּלאַטע, שיפל, קאָן קאָרב, אאז"ו ו. אין דער זעלביקער צייט, די מעטאָדע ריקווייערז די פארדאַמפּונג מקור מאַטעריאַל צו האָבן הויך שמעלץ פונט, נידעריק זעטיקונג פארע דרוק, סטאַבילע כעמישע פּראָפּערטיעס, נישט האָבן כעמישע ריאַקשאַנז מיט די קאָוטינג מאַטעריאַל ביי הויך טעמפּעראַטור, גוט היץ קעגנשטעל, קליין ענדערונג אין מאַכט געדיכטקייַט, אאז"ו ו. עס אַדאַפּט הויך קראַנט דורך די פארדאַמפּונג מקור צו מאַכן עס כיטיד אַרויף און פארדאַמפּן די פילם מאַטעריאַל דורך דירעקט הייצונג, אָדער שטעלן די פילם מאַטעריאַל אין די קרוסיבל געמאכט פון גראַפיט און זיכער הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק מעטאַל אָקסיידז (אַזאַ ווי A202, B0) און אנדערע מאַטעריאַלס פֿאַר ומדירעקט הייצונג צו פארדאַמפּן.
קעגנשטאנד הייצונג פארדאַמפּונג קאָוטינג האט לימיטיישאַנז: ראַפראַקטאָרי מעטאַלן האָבן נידעריק פארע דרוק, וואָס איז שווער צו מאַכן דין פילם; עטלעכע עלעמענטן זענען גרינג צו פאָרעם אַ צומיש מיט די הייצונג דראָט; עס איז נישט גרינג צו באַקומען אַ מונדיר קאַמפּאַזישאַן פון די צומיש פילם. צוליב די פּשוט סטרוקטור, נידעריק פּרייַז און גרינג אָפּעראַציע פון קעגנשטאנד הייצונג פארדאַמפּונג מעטאָד, עס איז אַ זייער פּראָסט אַפּלאַקיישאַן פון פארדאַמפּונג מעטאָד.
(2) עלעקטראָן שטראַל הייצונג פארדאַמפּונג
עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג איז אַ מעטאָד פון פארדאַמפּן דעם קאָוטינג מאַטעריאַל דורך באַמבאַרדירן עס מיט אַ הויך-ענערגיע געדיכטקייַט עלעקטראָן שטראַל דורך שטעלן עס אין אַ וואַסער-געקילט קופּער קרוציבל. די פארדאַמפּונג מקור באשטייט פון אַן עלעקטראָן ימישאַן מקור, אַן עלעקטראָן אַקסעלעריישאַן מאַכט מקור, אַ קרוציבל (געוויינטלעך אַ קופּער קרוציבל), אַ מאַגנעטיש פעלד שפּול, און אַ קיל וואַסער סעט, עטק. אין דעם מיטל, די באַהייצטע מאַטעריאַל איז געשטעלט אין אַ וואַסער-געקילט קרוציבל, און די עלעקטראָן שטראַל באַמבאַרדירט בלויז אַ זייער קליין טייל פון די מאַטעריאַל, בשעת רובֿ פון די רוען מאַטעריאַל בלייבט אין אַ זייער נידעריק טעמפּעראַטור אונטער די קילן ווירקונג פון די קרוציבל, וואָס קען זיין באַטראַכט ווי די באַמבאַרדירט טייל פון די קרוציבל. אַזוי, די מעטאָד פון עלעקטראָן שטראַל הייצונג פֿאַר פארדאַמפּונג קען ויסמיידן קאַנטאַמאַניישאַן צווישן די קאָוטינג מאַטעריאַל און די פארדאַמפּונג מקור מאַטעריאַל.
די סטרוקטור פון דער עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג מקור קען ווערן צעטיילט אין דריי טיפּן: גלייכע ביקסן (בולעס ביקסן), רינג ביקסן (עלעקטריש אָפּגעבויגן) און עלעקטראָנישע-ביקסן (מאַגנעטיש אָפּגעבויגן). איין אָדער מער קרוסיבלס קענען ווערן געשטעלט אין אַ פארדאַמפּונג מעכירע, וואָס קענען פארדאַמפּן און אַוועקלייגן פילע פאַרשידענע סאַבסטאַנסעס סיימאַלטייניאַסלי אָדער סעפּעראַטלי.
עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג קוועלער האָבן די פאלגענדע אַדוואַנידזשיז.
①די הויכע שטראַל געדיכטקייט פון די עלעקטראָן שטראַל באָמבאַרדירונג פארדאַמפּונג מקור קען באַקומען אַ פיל גרעסערע ענערגיע געדיכטקייט ווי די קעגנשטעל הייצונג מקור, וואָס קען פארדאַמפּן הויך שמעלץ פונט מאַטעריאַלס, אַזאַ ווי W, Mo, Al2O3, עטק.
②דער קאָוטינג מאַטעריאַל ווערט געשטעלט אין אַ וואַסער-געקילט קופּער קרוציבל, וואָס קען פאַרמייַדן די פארדאַמפּונג פון די פארדאַמפּונג מקור מאַטעריאַל, און די רעאַקציע צווישן זיי.
③ היץ קען צוגעגעבן ווערן גלייך צו דער ייבערפלאַך פון דעם קאָוטינג מאַטעריאַל, וואָס מאַכט די טערמישע עפעקטיווקייט הויך און די אָנווער פון היץ קאַנדאַקשאַן און היץ ראַדיאַציע נידעריק.
דער חסרון פון דער עלעקטראָן שטראַל הייצונג פארדאַמפּונג מעטאָדע איז אַז די ערשטיק עלעקטראָנען פון די עלעקטראָן ביקס און די צווייטיק עלעקטראָנען פון דער ייבערפלאַך פון די קאָוטינג מאַטעריאַל וועלן יאָניזירן די פארדאַמפּונג אַטאָמען און רעשט גאַז מאַלאַקיולן, וואָס וועט מאל אַפעקטירן די קוואַליטעט פון די פילם.
(3) הויך-פרעקווענץ אינדוקציע הייצונג פארדאַמפּונג
הויך-פרעקווענץ אינדוקציע הייצונג פארדאַמפּונג איז צו שטעלן דעם קרוציבל מיט קאָוטינג מאַטעריאַל אין צענטער פון דער הויך-פרעקווענץ שפּיראַל שפּול, אַזוי אַז דער קאָוטינג מאַטעריאַל דזשענערירט שטאַרקע עדי קראַנט און כיסטערעזיס ווירקונג אונטער דער אינדוקציע פון אַ הויך-פרעקווענץ עלעקטראָמאַגנעטישן פעלד, וואָס פאַרשאַפן די פילם שיכט צו היץ זיך ביז עס פארדאַמפּט און פארדאַמפּט. די פארדאַמפּונג מקור באשטייט בכלל פון אַ וואַסער-געקילטע הויך-פרעקווענץ שפּול און אַ גראַפיט אָדער קעראַמיק (מאַגנעזיום אָקסייד, אַלומינום אָקסייד, באָר אָקסייד, אאז"ו ו) קרוציבל. די הויך-פרעקווענץ מאַכט צושטעל ניצט אַ פרעקווענץ פון צען טויזנט ביז עטלעכע הונדערט טויזנט הערץ, די אַרייַנגאַנג מאַכט איז עטלעכע ביז עטלעכע הונדערט קילאוואט, די קלענערער דער באַנד פון די מעמבראַנע מאַטעריאַל, די העכער די אינדוקציע פרעקווענץ. אינדוקציע שפּול פרעקווענץ איז בכלל געמאכט פון וואַסער-געקילטע קופּער רער.
דער חסרון פון הויך-פרעקווענץ אינדוקציע הייצונג פארדאַמפּונג מעטאָד איז אַז עס איז נישט גרינג צו פייַן סטרויערן די אַרייַנשרייַב מאַכט, עס האט די פאלגענדע אַדוואַנידזשיז.
①הויכע פארדאַמפּונג קורס
②די טעמפּעראַטור פון די פארדאַמפּונג מקור איז מונדיר און סטאַביל, אַזוי עס איז נישט גרינג צו פּראָדוצירן די דערשיינונג פון קאָוטינג טראָפּנס שפּריץ, און עס קען אויך ויסמיידן די דערשיינונג פון פּין האָלעס אויף די דעפּאַזיטיד פילם.
③די פארדאַמפּונג מקור ווערט איינמאל געלאָדן, און די טעמפּעראַטור איז גאַנץ גרינג און פּשוט צו קאָנטראָלירן.
פּאָסט צייט: 28סטן אָקטאָבער 2022