כעמישע פארע דעפאזיציע (CVD) טעכנאָלאָגיע איז אַ פילם-פאָרמינג טעכנאָלאָגיע וואָס ניצט הייצונג, פּלאַזמע פֿאַרבעסערונג, פאָטאָ-אַסיסטירט און אַנדערע מיטלען צו מאַכן גאַזאַרטיקע סאַבסטאַנסעס פּראָדוצירן האַרטע פילמען אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך דורך כעמישע רעאַקציע אונטער נאָרמאַל אָדער נידעריק דרוק.
בכלל, די רעאַקציע אין וועלכער דער רעאַקטאַנט איז אַ גאַז און איינער פון די פּראָדוקטן איז אַ האַרטער מאַטעריאַל ווערט גערופן CVD רעאַקציע. עס זענען פילע מינים קאָוטינגז צוגעגרייט דורך CVD רעאַקציע, ספּעציעל אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס. למשל, אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פעלד, די ראַפינירן פון רוי מאַטעריאַלן, די צוגרייטונג פון הויך-קוואַליטעט האַלב-קאָנדוקטאָר איין קריסטאַל פילמען, און די וווּקס פון פּאָליקריסטאַלין און אַמאָרפע פילמען, פון עלעקטראָנישע דעוויסעס צו ינטעגרירטע קרייזן, זענען אַלע פֿאַרבונדן מיט CVD טעכנאָלאָגיע. אין דערצו, די ייבערפלאַך באַהאַנדלונג פון מאַטעריאַלן איז באַליבט דורך מענטשן. למשל, פֿאַרשידענע מאַטעריאַלן אַזאַ ווי מאַשינערי, רעאַקטאָר, אַעראָספּייס, מעדיציניש און כעמיש ויסריכט קענען ווערן געניצט צו צוגרייטן פאַנגקשאַנאַל קאָוטינגז מיט קעראָוזשאַן קעגנשטעל, היץ קעגנשטעל, טראָגן קעגנשטעל און ייבערפלאַך פֿאַרשטאַרקונג דורך CVD פילם פאָרמינג אופֿן לויט זייערע פאַרשידענע באדערפענישן.
—— דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ, אַ פאַבריקאַנט פוןוואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט
פּאָסט צייט: מערץ-04-2023