Thiết bị áp dụng công nghệ bốc hơi chùm tia điện tử. Các electron được phát ra từ sợi catốt và tập trung vào một dòng điện chùm nhất định, được tăng tốc bởi điện thế giữa catốt và nồi nấu chảy để làm tan chảy và bốc hơi vật liệu phủ. Nó có đặc điểm là mật độ năng lượng cao và có thể bốc hơi vật liệu phủ có điểm nóng chảy hơn 3000 ℃. Màng có độ tinh khiết cao và hiệu suất nhiệt cao.
Thiết bị được trang bị nguồn bốc hơi chùm tia điện tử, nguồn ion, hệ thống giám sát độ dày màng, cấu trúc hiệu chỉnh độ dày màng và hệ thống xoay phôi ô ổn định. Thông qua lớp phủ hỗ trợ nguồn ion, độ chặt của màng được tăng lên, chỉ số khúc xạ được ổn định và tránh hiện tượng dịch chuyển bước sóng do độ ẩm. Hệ thống giám sát độ dày màng hoàn toàn tự động theo thời gian thực có thể đảm bảo tính lặp lại và tính ổn định của quy trình. Được trang bị chức năng tự tan chảy để giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị này có thể áp dụng cho nhiều loại vật liệu phủ oxit và kim loại, có thể phủ nhiều lớp màng quang học chính xác như màng AR, màng truyền sóng dài, màng truyền sóng ngắn, màng làm sáng, màng AS/AF, IRCUT, hệ thống màng màu, hệ thống màng gradient, v.v. Thiết bị đã được sử dụng rộng rãi trong kính AR, ống kính quang học, máy ảnh, ống kính quang học, bộ lọc, ngành công nghiệp bán dẫn, v.v.