1.Yon nurli elektron oqimining xarakteristikasi
Ark plazmasidagi elektron oqimi, ion oqimi va yuqori energiyali neytral atomlarning yoyli razryad natijasida hosil bo'lgan zichligi nurli razryadga qaraganda ancha yuqori. Qoplama bo'shlig'ida ko'proq gaz ionlari va metall ionlari ionlangan, qo'zg'atilgan yuqori energiyali atomlar va turli faol guruhlar mavjud bo'lib, ular qoplama jarayonining isitish, tozalash va qoplama bosqichlarida muhim rol o'ynaydi. Yoy elektron oqimining harakat shakli ion nuridan farq qiladi, ularning hammasi ham "nur" ga birlashmaydi, lekin asosan divergent holatda, shuning uchun u yoy elektron oqimi deb ataladi. Yoy elektronlari anodga qarab oqayotganligi sababli, yoy elektron oqimi yoy quvvat manbaining musbat elektrodi ulangan joyga yo‘naltiriladi va anod ish qismi, yordamchi anod, tigel va boshqalar bo‘lishi mumkin.
2.Yon elektron oqimini hosil qilish usuli
(1) Gaz manbai yoy elektron oqimini hosil qiladi: ichi bo'sh katodli yoy oqimining yoyi oqimi va issiq simli yoy oqimi taxminan 200A ga yetishi mumkin va kamon kuchlanishi 50-70V ni tashkil qiladi.
(2) Qattiq manba yoy elektron oqimini hosil qiladi: katod boshq manbai, jumladan, kichik boshq manbai, silindrsimon boshq manbai, to'rtburchaklar tekislik katta boshq manbai va boshqalar. Har bir katod boshq manbai deşarjining boshq oqimi 80-200A, yoy kuchlanishi esa 18-25V.
Ikki turdagi yoy deşarj plazmasidagi yuqori zichlikli va past energiyali yoy elektron oqimi gaz va metall plyonka atomlari bilan kuchli to'qnashuv ionlanishini keltirib chiqarishi, ko'proq gaz ionlari, metall ionlari va turli yuqori energiyali faol atomlar va guruhlarni olishi mumkin, shu bilan kino qatlami ionlarining umumiy faolligini yaxshilaydi.
-Ushbu maqola Guangdong Zhenhua tomonidan chop etilgan, avakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi
Xabar berish vaqti: 2023 yil 31-may