Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) texnologiyasi - bu normal yoki past bosim ostida kimyoviy reaktsiya orqali substrat yuzasida gazsimon moddalarni qattiq plyonkalar hosil qilish uchun isitish, plazma yaxshilash, foto-yordamchi va boshqa vositalardan foydalanadigan plyonka hosil qiluvchi texnologiya.
Odatda, reaktiv gaz va mahsulotlardan biri qattiq bo'lgan reaktsiya CVD reaktsiyasi deb ataladi. CVD reaktsiyasi bilan tayyorlangan ko'plab qoplamalar mavjud, ayniqsa yarimo'tkazgich jarayonida. Misol uchun, yarimo'tkazgich sohasida xom ashyoni qayta ishlash, yuqori sifatli yarim o'tkazgichli monokristal plyonkalar tayyorlash, polikristal va amorf plyonkalarni elektron qurilmalardan integral mikrosxemalargacha o'sishi CVD texnologiyasi bilan bog'liq. Bundan tashqari, materiallarning sirtini qayta ishlash odamlar tomonidan ma'qullanadi. Masalan, mashinalar, reaktor, aerokosmik, tibbiy va kimyoviy uskunalar kabi turli xil materiallar korroziyaga chidamlilik, issiqlikka chidamlilik, aşınmaya bardoshli va sirtni mustahkamlash uchun CVD plyonka shakllantirish usuli bilan ularning turli talablariga muvofiq funktsional qoplamalarni tayyorlash uchun ishlatilishi mumkin.
—— Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan chop etilganvakuumli qoplama uskunalari
Yuborilgan vaqt: 2023 yil 04 mart