1. Характеристики потоку електронів дугового світла
Щільність потоку електронів, потоку іонів та високоенергетичних нейтральних атомів у дуговій плазмі, що генерується дуговим розрядом, значно вища, ніж у тліючому розряді. У просторі покриття більше іонізованих іонів газу та іонів металів, збуджених високоенергетичних атомів та різних активних груп, які відіграють важливу роль на етапах нагрівання, очищення та нанесення покриття. Форма дії потоку електронів дуги відрізняється від форми дії іонного пучка, не всі з яких сходяться в «пучок», а здебільшого в розбіжному стані, тому це називається потоком електронів дуги. Оскільки електрони дуги течуть до анода, потік електронів дуги спрямований туди, де підключено позитивний електрод джерела живлення дуги, а анодом може бути заготовка, допоміжний анод, тигель тощо.
2. Метод генерації потоку електронів дуги
(1) Джерело газу генерує потік електронів дуги: струм дуги дугового розряду з порожнистим катодом та дугового розряду з гарячим дротом може досягати приблизно 200 А, а напруга дуги становить 50-70 В.
(2) Твердотільне джерело генерує потік електронних дуг: катодне джерело дуги, включаючи мале джерело дуги, циліндричне джерело дуги, прямокутне плоске джерело великої дуги тощо. Струм дуги кожного розряду катодного джерела дуги становить 80-200 А, а напруга дуги – 18-25 В.
Потік електронів дуги з високою щільністю та низькою енергією у двох типах плазми дугового розряду може генерувати інтенсивну іонізацію зіткненнями з атомами газу та металевої плівки, отримуючи більше іонів газу, іонів металів та різних високоенергетичних активних атомів та груп, тим самим покращуючи загальну активність іонів плівкового шару.
–Цю статтю опублікувала компанія Guangdong Zhenhuaвиробник вакуумних машин для покриття
Час публікації: 31 травня 2023 р.