Ion سىرلاش تېخنىكىسى

فىلىم قويۇشتىكى ۋاكۇئۇمنىڭ پارغا ئايلىنىش ئۇسۇلىنىڭ ئاساسلىق ئالاھىدىلىكى يۇقىرى چۆكۈش نىسبىتى. پۈركۈش ئۇسۇلىنىڭ ئاساسلىق ئالاھىدىلىكى بار بولغان ماتېرىيال ماتېرىياللىرىنىڭ كەڭلىكى ۋە كىنو قەۋىتىنىڭ ياخشى بىردەكلىكى ، ئەمما چۆكۈش نىسبىتى تۆۋەن. ئىئون سىرلاش بۇ ئىككى جەرياننى بىرلەشتۈرگەن ئۇسۇل.

Ion سىرلاش پرىنسىپى ۋە كىنو شەكىللەندۈرۈش شارائىتى
رەسىمدە ئىئون سىرلاشنىڭ خىزمەت پرىنسىپى كۆرسىتىلدى. ۋاكۇئۇملۇق كامېر 10-4 Pa دىن تۆۋەن بېسىمغا پۈركۈلىدۇ ، ئاندىن ئىنېرت گازى (مەسىلەن ئارگون) بىلەن تولدۇرۇلۇپ 0.1 ~ 1 Pa بېسىمغا يېتىدۇ. يەر ئاستى قىسمىغا 5 كىلوۋولتلۇق پاسسىپ تۇراقلىق توك بېسىمى ئىشلىتىلگەندىن كېيىن ، ئاستى مېڭە بىلەن كرېست ئوتتۇرىسىدا تۆۋەن بېسىملىق گاز پارقىراق پلازما رايونى قۇرۇلدى. ئىنېرت گازى ئىئونلىرى ئېلېكتر مەيدانى تەرىپىدىن تېزلىتىلىپ ، يەر ئاستى سۈيىنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ ، بۇنىڭ بىلەن ئەسەرنىڭ يۈزى تازىلىنىدۇ. بۇ تازىلاش جەريانى تاماملانغاندىن كېيىن ، سىرلاش جەريانى كرېستكە چاپلىنىدىغان ماتېرىيالنىڭ پارلىنىشى بىلەن باشلىنىدۇ. ھورغا ئايلانغان ھور زەررىچىلىرى پلازما رايونىغا كىرىدۇ ۋە پارچىلىنىپ كەتكەن ئىنېرت مۇسبەت ئىئون ۋە ئېلېكترونلار بىلەن سوقۇلۇپ كېتىدۇ ، بىر قىسىم ھور زەررىچىلىرى پارچىلىنىپ ئېلېكتر مەيدانىنىڭ تېزلىنىشى ئاستىدا خىزمەت ۋە سىر يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ. ئىئون تەخسىلەش جەريانىدا ، چۆكمە بولۇپلا قالماي ، يەنە ئاستىرتتىن مۇسبەت ئىئونلارنىڭ چېچىشىمۇ بولىدۇ ، شۇڭا نېپىز پەردە چۆكۈش ئۈنۈمى پۈركۈش ئۈنۈمىدىن چوڭ بولغاندىلا شەكىللىنىدۇ.

ئاستىرتتىن ھەمىشە يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك ئىئونلار بىلەن بومبا ئېلىنىدىغان ئىئون سىرلاش جەريانى ئىنتايىن پاكىز بولۇپ ، پۈركۈش ۋە پارغا ئايلىنىش بىلەن سېلىشتۇرغاندا نۇرغۇن ئەۋزەللىكلىرى بار.

(1) كۈچلۈك يېپىشقاق ، سىر قەۋىتى ئاسان سويۇلمايدۇ.
(1) ئىئون سىرلاش جەريانىدا ، پارقىراق قويۇپ بېرىشتىن ھاسىل بولغان زور مىقداردىكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك زەررىچىلەر يەر ئاستى قەۋىتىگە كاتولىك پۈركۈش ئۈنۈمى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
(2) سىرلاش ، پۈركۈش ۋە چۆكۈش تەڭ مەۋجۇت بولۇپ تۇرىدىغان دەسلەپكى باسقۇچتا ، ئۇ كىنو بازىسىنىڭ كۆرۈنمە يۈزىدە زاپچاسلارنىڭ ئۆتكۈنچى قەۋىتىنى ياكى كىنو ماتېرىيالى بىلەن ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ ئارىلاشمىسىنى ھاسىل قىلالايدۇ ، بۇ «ساختا تارقىلىش قەۋىتى» دەپ ئاتىلىدۇ ، بۇ فىلىمنىڭ يېپىشتۇرۇش ئۈنۈمىنى ئۈنۈملۈك ئۆستۈرىدۇ.
(2) ياخشى ئورالغان خۇسۇسىيەت. بىر سەۋەب شۇكى ، سىرلانغان ماتېرىيال ئاتوملىرى يۇقىرى بېسىم ئاستىدا ئىئونلىنىپ ، بالا ئېلېمېنتقا يېتىش جەريانىدا بىر نەچچە قېتىم گاز مولېكۇلىلىرى بىلەن سوقۇلۇپ كېتىدۇ ، بۇنداق بولغاندا سىر ماتېرىياللىرى ئىئونلىرى ئاستىرتتىن ئەتراپىغا چېچىلىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، ئىئونلاشتۇرۇلغان سىرلىق ماتېرىيال ئاتوملىرى ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتى ئاستىدا يەر ئاستى يۈزىگە قويۇلدى ، شۇڭا پۈتكۈل يەر ئاستى پوستى نېپىز پەردە بىلەن قويۇلدى ، ئەمما پارغا ئايلىنىش قەۋىتى بۇ ئۈنۈمگە ئېرىشەلمەيدۇ.
.
.
(5) خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) بىلەن سېلىشتۇرغاندا ، ئۇنىڭ تۆۋەن تېمپېراتۇرىسى تۆۋەن بولىدۇ ، ئادەتتە ° C 500 تىن تۆۋەن بولىدۇ ، ئەمما ئۇنىڭ يېپىشقاقلىقى خىمىيىلىك ھور چۆكۈش پەردىسى بىلەن پۈتۈنلەي سېلىشتۇرغىلى بولىدۇ.
.

ئىئون سىرنىڭ كەمچىلىكى: فىلىمنىڭ قېلىنلىقىنى ئېنىق كونترول قىلغىلى بولمايدۇ ئىنچىكە سىر لازىم بولغاندا كەمتۈكلۈكنىڭ قويۇقلۇقى يۇقىرى بولىدۇ سىرلاش جەريانىدا گازلار يەر يۈزىگە كىرىدۇ ، بۇ يەر يۈزىنىڭ خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىدۇ. بەزى ئەھۋاللاردا كاۋاك ۋە يادرو (1 nm دىن تۆۋەن) شەكىللىنىدۇ.

چۆكۈش نىسبىتىگە كەلسەك ، ئىئون سىرلاش پارغا ئايلىنىش ئۇسۇلىغا سېلىشتۇرغىلى بولىدۇ. كىنو سۈپىتىگە كەلسەك ، ئىئون سىر بىلەن ئىشلەنگەن فىلىملەر پۈركۈش ئارقىلىق تەييارلانغان فىلىملەرگە يېقىن ياكى ياخشى.