Вакуум парга әйләнү принцибы
1 vacu Вакуум парга әйләнү җиһазлары һәм физик процессы
Вакуум парга әйләнү җиһазлары, нигездә, вакуум камерасы һәм эвакуация системасыннан тора. Вакуум камерасы эчендә парлану чыганагы (ягъни парлану җылыткыч), субстрат һәм субстрат каркасы, субстрат җылыткыч, эскиз системасы һ.б. бар.
Каплау материалы вакуум камерасының парга әйләнү чыганагына урнаштырылган, һәм югары вакуум шартларында ул парга әйләнү чыганагы белән җылытыла. Пар молекулаларының уртача ирекле диапазоны вакуум камерасының сызыклы зурлыгыннан зуррак булганда, кино парының атомнары һәм молекулалары парга әйләнү өслегеннән качканнан соң, башка молекулалар яки атомнар бәрелеше аркасында бик сирәк комачаулыйлар, һәм капланган субстрат өслегенә туры киләләр. Субстратның түбән температурасы аркасында пленка парлары кисәкчәләре конденсацияләнә һәм пленка ясыйлар.
Парлану молекулаларының һәм субстратларның ябышуын яхшырту өчен, субстратны тиешле җылыту яки ион чистарту ярдәмендә активлаштырырга мөмкин. Вакуум парга әйләнү түбәндәге физик процесслар аша материаль парга әйләнүдән, фильмга ташлаудан алып бара.
(1) Башка энергия формаларын җылылык энергиясенә әверелдерүнең төрле ысулларын кулланып, кино материалы билгеле күләмдә энергия белән (0,1 - 0,3 eV) газ кисәкчәләренә (атом, молекулалар яки атом кластерлары) парга әйләнергә яки сублиматланырга җылытыла.
(2) Газлы кисәкчәләр пленка өслегеннән китәләр һәм субстрат өслегенә билгеле бер хәрәкәт тизлегендә, бәрелешсез, туры сызыкта ташылалар.
(3) Газлы кисәкчәләр субстрат кушылу һәм нуклеат өслегенә барып җитәләр, аннары каты фазалы пленкага әйләнәләр.
4) Фильмны тәшкил иткән атомнарны үзгәртеп кору яки химик бәйләү.
2 、 Парлану җылыту
(1) Каршылык җылыту парга әйләнү
Каршылык җылыту парга әйләнү - иң гади һәм иң еш кулланыла торган җылыту ысулы, гадәттә 1500 than астыннан эретү ноктасы булган каплау материалларына кулланыла, чыбык яки плитка формасында югары эретү ноктасы металллар (W, Mo, Ti, Ta, бор нитриды һ.б.) гадәттә парлану чыганагының тиешле формасына керәләр, парга әйләнү материаллары белән тулы, парга әйләнү, парга әйләнү. күп катлы спираль, U формасындагы, син дулкын, нечкә тәлинкә, көймә, конус кәрзин һ.б. Шул ук вакытта ысул парлану чыганагы материалының югары эрү ноктасы, түбән туендыру парлары басымы, тотрыклы химик үзлекләргә ия булуын таләп итә, югары температурада каплау материалы белән химик реакциягә ия түгел, яхшы җылылык каршылыгы, җылылык материалы белән җылыту материалы, җылыту материалы, җылыту материалы белән җылыту. графиттан һәм билгеле бер югары температурага чыдам металл оксидлардан (мәсәлән, A202, B0) һәм парга әйләнү өчен турыдан-туры җылыту өчен башка материаллардан.
Каршылык җылыту парга әйләнүнең чикләүләре бар: отрядлы металлларның түбән парлы басымы бар, бу нечкә пленка ясау кыен; кайбер элементлар җылыту чыбыклары белән эретү формалаштыру җиңел; эретелгән фильмның бердәм композициясен алу җиңел түгел. Гади структурасы, түбән бәясе һәм каршылык җылыту парга әйләнү ысулының җиңел эшләве аркасында, бу парлану ысулының бик еш кулланылуы.
(2) Электрон нур җылыту парга әйләнү
Электрон нурның парга әйләнүе - каплау материалын парга әйләндерү ысулы, аны югары энергия тыгызлыгы булган электрон нур белән бомбардировать итеп, су белән суытылган бакырга урнаштырып. Парлану чыганагы электрон эмиссия чыганагыннан, электрон тизләнеш көче чыганагыннан, критик (гадәттә бакыр кристалл), магнит кыры кәтүкеннән һәм суыткыч су җыелмасыннан тора. Бу җайланмада җылытылган материал су белән суытылган крестьянга урнаштырыла, һәм электрон нур бомбардировщик материалның бик кечкенә өлешендә бомбардировщик булып кала, калган материалның салкын өлеше булып кала. хач. Шулай итеп, парга әйләнү өчен электрон нурны җылыту ысулы каплау материалы белән парга әйләнү материалы арасында пычранудан сакланырга мөмкин.
Электрон нурның парлану чыганагы структурасын өч төргә бүлеп була: туры мылтык (Булес мылтыгы), боҗралы мылтык (электр белән бозылган) һәм электрон мылтык (магнит белән бозылган). Бер яки берничә кристаллны парлану корылмасына урнаштырырга мөмкин, ул бер үк вакытта яки аерым күп төрле матдәләрне парга әйләндерә ала.
Электрон нурның парга әйләнү чыганаклары түбәндәге өстенлекләргә ия.
The Электрон нур бомбардирование парга әйләнү чыганагының югары нур тыгызлыгы каршылык җылыту чыганагына караганда күпкә зуррак энергия тыгызлыгын ала ала, ул W, Mo, Al2O3 һ.б. кебек эретү ноктасы материалларын парга әйләндерә ала ..
- Катлам материалы су белән суытылган бакырга урнаштырыла, ул парга әйләнү материалының парга әйләнүеннән һәм алар арасындагы реакциядән саклый ала.
Eatылылык каплау материалы өслегенә турыдан-туры кушылырга мөмкин, бу җылылык нәтиҗәлелеген югары итә, җылылык үткәрү һәм җылылык нурланышын югалта.
Электрон нурны җылыту парга әйләнү ысулының җитешсезлеге шунда: электрон мылтыктан төп электроннар һәм каплау материалы өслегеннән икенчел электроннар парга әйләнгән атомнарны һәм калдыклы газ молекулаларын ионлаштыралар, бу кайвакыт кино сыйфатына тәэсир итәчәк.
(3) frequгары ешлыклы индукция җылыту парга әйләнү
Frequгары ешлыклы индукцион җылыту парга әйләнү - каплау материалы белән югары ешлыктагы спираль кәтүкнең үзәгенә урнаштыру, шулай итеп каплау материалы югары ешлыклы электромагнит кыры индукциясе астында көчле ток һәм гистерез эффектын барлыкка китерә, бу кино катламы парланганчы һәм парга әйләнгәнче. Парлану чыганагы, гадәттә, су белән суытылган югары ешлыклы кәтүк һәм графит яки керамик (магний оксиды, алюминий оксиды, бор оксиды һ.б.) тора. Highгары ешлыктагы электр белән тәэмин итү ун меңнән берничә йөз мең Гц ешлыгын куллана, кертү көче берничә-берничә йөз киловатт, мембрана материалы күләме кечерәк булса, индукция ешлыгы шулкадәр югары. Индукцион кәтүк ешлыгы гадәттә су белән суытылган бакыр трубадан ясала.
Highгары ешлыклы индукция җылыту парга әйләнү ысулының җитешсезлеге шунда: кертү көчен көйләү җиңел түгел, аның түбәндәге өстенлекләре бар.
Ighгары парлану дәрәҗәсе
- Парлану чыганагының температурасы бертөрле һәм тотрыклы, шуңа күрә тамчыларның каплау феноменын ясау җиңел түгел, һәм ул шулай ук урнаштырылган пленкадагы тишекләр күренешеннән сакланырга мөмкин.
- Парлану чыганагы бер тапкыр йөкләнә, һәм температура белән идарә итү чагыштырмача җиңел һәм гади.
Пост вакыты: 28-2022 октябрь