Магнитрон чәчкеч каплауның характеристикалары
(3) Түбән энергия. Максатка кулланылган түбән катод көчәнеше аркасында, плазма катод янындагы киңлектә магнит кыры белән бәйләнгән, шулай итеп югары энергияле корылма кисәкчәләрен аткан субстрат кешеләр ягына тыя. Шуңа күрә, корылма кисәкчәләрен бомбардировать итү аркасында ярымүткәргеч җайланмалар кебек субстратка зыян дәрәҗәсе бүтән бөтерелү ысуллары белән чагыштырганда түбәнрәк.
(4) Түбән субстрат температурасы. Магнитронның бөтерелү тизлеге бик югары, чөнки регион эчендәге магнит кырындагы катод максаты, ягъни электрон концентрациясенең кечкенә локальләштерелгән өлкәсендә максатчан агызу полосасы югары, шул ук вакытта регионнан тыш магнит эффектында, аеруча субстрат өслегенең магнит кырыннан ерак, электрон концентрациясе түбән басымның таралуы аркасында, һәм хәтта газ басымы аермасы түбән булырга мөмкин. Шуңа күрә, магнитрон бөтерелү шартларында, субстрат өслеген бомбардировать иткән электроннарның концентрациясе гади диод бөтерелүенә караганда күпкә түбәнрәк, һәм субстраттагы электрон вакыйгалар саны кимү аркасында субстрат температурасының артык артуыннан сакланалар. Моннан тыш, магнетрон чәчү ысулында, магнитрон бөтерелү җайланмасының аноды катод тирәсендә урнашырга мөмкин, һәм субстрат тоткыч шулай ук нигезсез һәм асылмалы потенциалда булырга мөмкин, шулай итеп электроннар җир асты субстрат тоткыч аша үтмәсеннәр һәм анод аша зур энергияле электроннар, субстратның бомбардировать ителүенә китерәләр. җылылык барлыкка китергән субстратны икенчел электрон бомбардирлау.
(5) Максатның тигез булмаган эфиры. Традицион магнитрон чәчү максатында, тигез булмаган магнит кырын куллану, шуңа күрә плазма җирле конвергенция эффектын тудырачак, максатны чәчү тизлегенең җирле позициясенә китерәчәк, нәтиҗәсе - максат зур тигез булмаган эфир ясау. Максатның куллану дәрәҗәсе, гадәттә, 30% тәшкил итә. Максатлы материалның куллану ставкасын яхшырту өчен, сез төрле камилләштерү чараларын күрә аласыз, мәсәлән, максатлы магнит кырының формасын һәм таралышын яхшырту, шулай итеп максатлы катод эчке хәрәкәтендәге магнит һ.б.
Магнит материалы максатларын таркатуда кыенлык. Әгәр дә бөтерелү максаты югары магнит үткәрүчәнлеге булган материалдан ясалган булса, магнит көч сызыклары турыдан-туры максатның эчке өлеше аша узачак, магнит кыска схема күренеше, шулай итеп магнитрон агызуны кыенлаштыра. Космик магнит кырын булдыру өчен, кешеләр төрле тикшеренүләр үткәрделәр, мәсәлән, магнит кырын максат материалы эчендә туендыру өчен, магнит максатлы температураның күбрәк агып чыгуына ярдәм итәр өчен, яки максатлы материалның магнит үткәрүчәнлеген киметү өчен, күп җитешсезлекләр калдырып.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 01-2023 декабрь