Ekipman, elektron ışını buharlaştırma teknolojisini benimser. Elektronlar katot filamentinden yayılır ve katot ile pota arasındaki potansiyel tarafından hızlandırılan ve kaplama malzemesini eritip buharlaştıran belirli bir ışın akımına odaklanır. Yüksek enerji yoğunluğu özelliklerine sahiptir ve 3000 ℃'den fazla erime noktasına sahip kaplama malzemesini buharlaştırabilir. Film yüksek saflığa ve yüksek termal verimliliğe sahiptir.
Ekipman, elektron ışını buharlaştırma kaynağı, iyon kaynağı, film kalınlığı izleme sistemi, film kalınlığı düzeltme yapısı ve sabit şemsiye iş parçası dönüş sistemi ile donatılmıştır. İyon kaynağı destekli kaplama sayesinde filmin kompaktlığı artırılır, kırılma indisi sabitlenir ve nemden kaynaklanan dalga boyu kayması olgusu önlenir. Tam otomatik film kalınlığı gerçek zamanlı izleme sistemi, sürecin tekrarlanabilirliğini ve kararlılığını sağlayabilir. Operatörün becerilerine olan bağımlılığı azaltmak için kendi kendine erime işlevi ile donatılmıştır.
Ekipman çeşitli oksitler ve metal kaplama malzemelerine uygulanabilir ve AR filmi, uzun dalga geçişi, kısa dalga geçişi, parlatma filmi, AS / AF filmi, IRCUT, renkli film sistemi, degrade film sistemi vb. gibi çok katmanlı hassas optik filmlerle kaplanabilir. AR gözlüklerinde, optik lenslerde, kameralarda, optik lenslerde, filtrelerde, yarı iletken endüstrilerinde vb. yaygın olarak kullanılmaktadır.