Mga Katangian at Paraan ng Pagbuo ng Arc Electron Flow

1. Mga katangian ng arc light electron flow

Ang density ng daloy ng electron, daloy ng ion, at mga neutral na atom na may mataas na enerhiya sa arc plasma na nabuo ng arc discharge ay mas mataas kaysa sa glow discharge. Mayroong higit pang mga gas ions at metal ions na na-ionize, nasasabik na mga high-energy na atom, at iba't ibang aktibong grupo sa coating space, na may mahalagang papel sa mga yugto ng pagpainit, paglilinis, at pag-coating ng proseso ng coating. Ang action form ng arc electron flow ay iba sa ion beam, hindi lahat ay nagtatagpo sa isang "beam", ngunit karamihan ay nasa isang divergent na estado, kaya ito ay tinatawag na arc electron flow. Dahil ang mga arc electron ay dumadaloy patungo sa anode, ang arc electron flow ay nakadirekta saanman ang positibong electrode ng arc power supply ay konektado, at ang anode ay maaaring isang workpiece, auxiliary anode, crucible, atbp.

2.Paraan ng pagbuo ng arc electron flow

(1) Ang gas source ay bumubuo ng arc electron flow: ang arc current ng hollow cathode arc discharge at hot wire arc discharge ay maaaring umabot ng humigit-kumulang 200A, at ang arc voltage ay 50-70V.

(2) Solid source ay bumubuo ng arc electron flow: cathode arc source, kabilang ang maliit na arc source, cylindrical arc source, rectangular plane large arc source, atbp. Ang arc current ng bawat cathode arc source discharge ay 80-200A, at ang arc voltage ay 18-25V.

Ang high-density at low-energy arc electron flow sa dalawang uri ng arc discharge plasmas ay maaaring makabuo ng matinding collision ionization na may gas at metal film atoms, na nakakakuha ng mas maraming gas ions, metal ions, at iba't ibang high-energy active atoms at group, at sa gayon ay nagpapabuti sa pangkalahatang aktibidad ng film layer ions.

–Ang artikulong ito ay inilabas ni Guangdong Zhenhua, atagagawa ng vacuum coating machine