Häzirki wagtda püskürtme örtük tehnologiýasynyň, esasanam magnetron püskürtme örtük tehnologiýasynyň barha ösmegi bilen, islendik material üçin ion bombardman nyşana plýonkasyny taýýarlamak mümkin, sebäbi nyşana bir görnüşli substrata örtüklemek prosesinde püskürtilýär, püskürtme plýonkasynyň hiline möhüm täsir edýär, şonuň üçin nyşana materialynyň talaplary hem has berk. Nyşana materialy saýlananda, plýonkanyň özüni ulanmakdan başga-da, aşakdaky meseleleri hem göz öňünde tutmaly:
1. Nyşana alnan material plýonka emele gelenden soň gowy mehaniki berklige we himiki durnuklylyga eýe bolmaly
2. Nyşana we substratyň utgaşmasy berk bolmaly, ýogsam substrat membrana materialynyň gowy utgaşmasy bilen alynmaly, ilki bilen esasy plýonkany sepmeli, soňra bolsa zerur membrana gatlagyny taýýarlamaly.
3. Püskürtme reaksiýasy hökmünde membran materialy membrana birleşmelerini döretmek üçin gaz bilen reaksiýa girmegi aňsat bolmaly; 4.
4. Membrananyň iş görkezijileriniň talaplaryny kanagatlandyrmak şerti bilen, nyşana alynýan materialyň we substratyň termal giňelme koeffisiýentiniň arasyndaky tapawut mümkin boldugyça az bolmaly, şonuň üçin termal stres püskürýän membrana täsirini iň pes derejä düşürmeli.
Püskürýän plýonkanyň termal stresiniň täsiri; 5.
5. Membranyň ulanylyş we iş görkezijileri boýunça talaplaryna laýyklykda, maksatly material arassalyga, hapaçylyk mukdaryna, komponentleriň birmeňzeşligine, işleniş takyklygyna we beýleki tehniki talaplara laýyk gelmelidir.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 21-nji dekabry