Чачыратуучу каптоо технологиясынын, айрыкча магнетрондук чачыратуучу каптоо технологиясынын өнүгүшү менен, азыркы учурда каалаган материал үчүн иондук бомбалоо жолу менен бута пленкасын даярдоого болот, анткени бута кандайдыр бир негизге чачыратылып капталгандыктан, чачыратуучу пленканын сапаты маанилүү таасирге ээ, ошондуктан, бута материалына коюлган талаптар дагы катуураак. Бута материалын тандоодо пленканын өзүн колдонуудан тышкары, төмөнкү маселелерди да эске алуу керек:
1. Пленка пайда болгондон кийин максаттуу материал жакшы механикалык бекемдикке жана химиялык туруктуулукка ээ болушу керек
2. Максат менен субстраттын айкалышы бекем болушу керек, болбосо субстрат мембрана материалынын жакшы айкалышына ээ болушу керек, алгач негизги пленканы чачып, андан кийин керектүү мембрана катмарын даярдоо керек.
3 Чачыратуучу реакция катары мембрана материалы газ менен реакцияга кирип, мембрана кошулмаларын пайда кылышы керек; 4.
4. Мембрананын иштөө талаптарын канааттандыруу шартында, чачыраган мембранага жылуулук стрессинин таасирин минималдаштыруу үчүн, максаттуу материалдын жана субстраттын жылуулук кеңейүү коэффициентинин ортосундагы айырма мүмкүн болушунча аз болушу керек.
Чачыратуучу пленканын жылуулук стрессинин таасири; 5.
5. Мембрананын колдонулушуна жана иштөө талаптарына ылайык, максаттуу материал тазалыкка, аралашманын курамына, компоненттердин бирдейлигине, иштетүүнүн тактыгына жана башка техникалык талаптарга жооп бериши керек.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 21-декабры