Me ka hoʻomohala ʻana o ka ʻenehana uhi sputtering, ʻoiai ke ʻenehana uhi magnetron sputtering, i kēia manawa, hiki ke hoʻomākaukau ʻia kekahi mea e ka ion bombardment target film, no ka mea ua sputtered ka pahuhopu i ke kaʻina hana o ka uhi ʻana iā ia i kekahi ʻano substrate, he hopena koʻikoʻi ka maikaʻi o ka sputtered film, no laila, ʻoi aku ka paʻakikī o nā koi o ka mea pahuhopu. I ke koho ʻana i ka mea pahuhopu, ma waho aʻe o ka hoʻohana ʻana i ka film ponoʻī, pono e noʻonoʻo i nā pilikia aʻe:
1. Pono ka mea i manaʻo ʻia e loaʻa ka ikaika mechanical maikaʻi a me ke kūpaʻa kemika ma hope o ka hoʻokumu ʻia ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni
2. Pono ka hui pū ʻana o ka pahuhopu a me ka substrate e ikaika, a i ʻole e lawe ʻia me ka substrate i kahi hui maikaʻi o nā mea membrane, e pīpī mua i kahi kiʻiʻoniʻoni kumu a laila e hoʻomākaukau i ka papa membrane e pono ai.
3 ma ke ʻano he hopena sputtering membrane mea pono e maʻalahi ke pane me ke kinoea e hana i nā hui membrane; 4.
4. Ma lalo o ke kumumanaʻo o ka hoʻokō ʻana i nā koi o ka hana membrane, ʻo ka ʻokoʻa ma waena o ke koina o ka hoʻonui ʻana o ka thermal o ka mea i manaʻo ʻia a me ka substrate e like me ka liʻiliʻi, i mea e hōʻemi ai i ka hopena o ke kaumaha thermal ma ka membrane sputtered.
Ka hopena o ke koʻikoʻi wela o ka ʻili sputtering; 5.
5. Wahi a nā koi hoʻohana a me ka hana o ka membrane, pono e hoʻokō ka mea i manaʻo ʻia i ka maʻemaʻe, ka ʻike haumia, ke ʻano like o nā ʻāpana, ka pololei o ka mīkini a me nā koi loea ʻē aʻe.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Dec-21-2023