Бо рушди рӯзафзуни технологияи пӯшиши пошидани магнетронӣ, бахусус технологияи пӯшиши пошидани магнетронӣ, айни замон, барои ҳама гуна мавод плёнкаи ҳадафро бо истифода аз бомбаборони ионӣ омода кардан мумкин аст, зеро ҳадаф ҳангоми пӯшонидани он ба ягон намуди таҳкурсӣ пошида мешавад, сифати плёнкаи пошидашуда таъсири муҳим дорад, аз ин рӯ, талабот ба маводи ҳадаф низ сахттар аст. Ҳангоми интихоби маводи ҳадаф, илова бар истифодаи худи плёнка, бояд масъалаҳои зеринро низ ба назар гирифт:
1. Пас аз ташаккули плёнка, маводи мақсаднок бояд қувваи хуби механикӣ ва устувории кимиёвӣ дошта бошад
2. Омезиши ҳадаф ва субстрат бояд қавӣ бошад, дар акси ҳол, бояд бо субстрат, ки омезиши хуби маводи мембрана дорад, гирифта шавад, аввал плёнкаи асосиро пошидан ва сипас қабати зарурии мембранаро омода кардан лозим аст.
3. Ҳамчун реаксияи пошидани пошиш, маводи мембрана бояд бо газ ба осонӣ реаксия карда шавад, то пайвастагиҳои мембрана ба вуҷуд оянд; 4.
4. Бо дарназардошти талаботи иҷрои мембрана, фарқияти байни коэффитсиенти васеъшавии гармии маводи мақсаднок ва субстрат то ҳадди имкон кам аст, то таъсири фишори гармӣ ба мембранаи пошидашуда ба ҳадди ақал расонида шавад.
Таъсири фишори гармии плёнкаи пошидани маводи мухаддир; 5.
5. Мувофиқи талаботи истифода ва иҷрои мембрана, маводи мақсаднок бояд ба покӣ, миқдори ифлосӣ, якрангии ҷузъҳо, дақиқии коркард ва дигар талаботи техникӣ ҷавобгӯ бошад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 21 декабри соли 2023