Шашырату жабыны технологиясының, әсіресе магнетронды шашырату жабыны технологиясының дамуымен қазіргі уақытта кез келген материал үшін иондық бомбалау арқылы нысана пленкасын дайындауға болады, себебі нысана оны қандай да бір негізге шашырату процесінде шашыратылады, сондықтан шашырату пленкасының сапасы маңызды әсер етеді, сондықтан нысана материалына қойылатын талаптар да қатаңырақ. Нысаналы материалды таңдағанда, пленканың өзін пайдаланумен қатар, келесі мәселелерді де ескеру қажет:
1. Мақсатты материал пленка пайда болғаннан кейін жақсы механикалық беріктікке және химиялық тұрақтылыққа ие болуы керек
2. Нысан мен субстраттың үйлесімі берік болуы керек, әйтпесе субстратта мембраналық материалдың жақсы үйлесімі болуы керек, алдымен негізгі пленканы шашыратып, содан кейін қажетті мембраналық қабатты дайындау керек.
3. Шашырату реакциясы кезінде мембраналық материал газбен оңай әрекеттесіп, мембраналық қосылыстар түзуі керек; 4.
4. Мембрананың жұмыс істеу талаптарын орындау шарты бойынша, нысана материалы мен негіздің жылулық кеңею коэффициенті арасындағы айырмашылық мүмкіндігінше аз болуы керек, бұл шашыраған мембранаға жылулық кернеудің әсерін азайтуға мүмкіндік береді.
Шашырататын пленканың жылулық кернеуінің әсері; 5.
5. Мембрананың пайдалану және өнімділік талаптарына сәйкес, нысана материалы тазалыққа, қоспа құрамына, компоненттердің біркелкілігіне, өңдеу дәлдігіне және басқа да техникалық талаптарға сай болуы керек.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 21 желтоқсан