С развитием технологии магнетронного распыления, особенно магнетронного распыления, в настоящее время с помощью ионно-бомбардировочной мишени можно получить пленку из любого материала. Поскольку мишень распыляется в процессе нанесения покрытия на подложку, качество распыленной пленки имеет важное значение, поэтому требования к материалу мишени также стали более жесткими. При выборе материала мишени, помимо выбора самой пленки, следует также учитывать следующие моменты:
1. Целевой материал должен обладать хорошей механической прочностью и химической стабильностью после образования пленки.
2. Необходимо обеспечить прочное соединение мишени и подложки; в противном случае следует использовать подложку с хорошим соединением мембранного материала, сначала нанести базовую пленку методом магнетронного распыления, а затем подготовить необходимый мембранный слой.
3. В качестве реакции, проводимой при распылении материала мембраны, необходимо, чтобы он легко вступал в реакцию с газом для образования соединений мембраны; 4.
4. При условии соответствия требованиям к характеристикам мембраны, разница между коэффициентом теплового расширения целевого материала и подложки должна быть как можно меньше, чтобы минимизировать влияние термического напряжения на напыленную мембрану.
Влияние термического напряжения напыленной пленки; 5.
5. В соответствии с требованиями к применению и характеристикам мембраны, целевой материал должен соответствовать требованиям к чистоте, содержанию примесей, однородности компонентов, точности обработки и другим техническим параметрам.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 21 декабря 2023 г.