Wraz z rozwojem technologii napylania jonowego, a zwłaszcza technologii napylania magnetronowego, obecnie możliwe jest przygotowanie dowolnego materiału metodą bombardowania jonowego. Ponieważ tarcza jest napylana w procesie powlekania określonego rodzaju podłoża, jakość napylanej warstwy ma istotny wpływ, a zatem wymagania dotyczące materiału tarczy są również bardziej rygorystyczne. Przy wyborze materiału tarczy, oprócz zastosowania samej warstwy, należy również uwzględnić następujące kwestie:
1. Materiał docelowy powinien mieć dobrą wytrzymałość mechaniczną i stabilność chemiczną po utworzeniu filmu
2. Połączenie celu i podłoża musi być mocne, w przeciwnym razie należy zastosować podłoże z dobrą kombinacją materiału membrany, najpierw natryskując warstwę bazową, a następnie przygotowując wymaganą warstwę membrany.
3. Jako materiał membrany do rozpylania reakcyjnego musi on łatwo reagować z gazem, aby wytworzyć związki membranowe; 4.
4. Aby spełnić wymagania dotyczące wydajności membrany, różnica między współczynnikiem rozszerzalności cieplnej materiału docelowego i podłoża powinna być jak najmniejsza, aby zminimalizować wpływ naprężeń cieplnych na rozpyloną membranę.
Wpływ naprężeń cieplnych na powłokę rozpylaną; 5.
5. Zgodnie z wymaganiami dotyczącymi zastosowania i wydajności membrany, materiał docelowy musi spełniać wymagania dotyczące czystości, zawartości zanieczyszczeń, jednorodności komponentów, dokładności obróbki i inne wymagania techniczne.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 21-12-2023