स्पटरिंग कोटिंग तंत्रज्ञानाच्या, विशेषतः मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तंत्रज्ञानाच्या वाढत्या विकासामुळे, सध्या कोणत्याही पदार्थासाठी आयन बॉम्बार्डमेंटद्वारे टार्गेट फिल्म तयार केली जाऊ शकते. कारण एखाद्या सब्सट्रेटवर कोटिंग करण्याच्या प्रक्रियेत टार्गेटचे स्पटरिंग केले जाते, त्यामुळे स्पटर केलेल्या फिल्मच्या गुणवत्तेचा महत्त्वाचा परिणाम होतो. म्हणूनच, टार्गेट पदार्थाच्या आवश्यकता देखील अधिक कठोर झाल्या आहेत. टार्गेट पदार्थाची निवड करताना, केवळ फिल्मच्या वापराची निवड करण्याव्यतिरिक्त, खालील बाबींचाही विचार केला पाहिजे:
१. फिल्म तयार झाल्यानंतर लक्ष्य सामग्रीमध्ये चांगली यांत्रिक शक्ती आणि रासायनिक स्थिरता असली पाहिजे.
२. टार्गेट आणि सबस्ट्रेट यांचे संयोजन मजबूत असले पाहिजे, अन्यथा सबस्ट्रेटमध्ये मेंब्रेन मटेरियलचे चांगले संयोजन असल्यास, प्रथम बेस फिल्म स्पटर करून आणि नंतर आवश्यक मेंब्रेन लेयर तयार करून हे केले पाहिजे.
३. रिॲक्शन स्पटरिंग मेम्ब्रेन मटेरियल वायूशी सहज अभिक्रिया करून मेम्ब्रेन संयुगे तयार करणारे असले पाहिजे; ४.
4. पडद्याच्या कार्यक्षमतेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्याच्या अटीवर, लक्ष्य सामग्री आणि सब्सट्रेटच्या औष्णिक प्रसरण गुणांकातील फरक शक्य तितका कमी असतो, जेणेकरून स्पटर केलेल्या पडद्यावरील औष्णिक ताणाचा प्रभाव कमी करता येईल.
स्पटरिंग फिल्मच्या औष्णिक ताणाचा प्रभाव; ५.
५. मेम्ब्रेनच्या वापर आणि कार्यप्रदर्शन आवश्यकतांनुसार, लक्ष्य सामग्रीने शुद्धता, अशुद्धतेचे प्रमाण, घटकांची एकसमानता, मशीनिंग अचूकता आणि इतर तांत्रिक आवश्यकता पूर्ण केल्या पाहिजेत.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: २१-डिसेंबर-२०२३