Цоолтуурын бүрэх технологи, ялангуяа магнетрон цацах бүрэх технологи улам бүр хөгжиж байгаатай холбогдуулан одоогоор ионы бөмбөгдөлтийн байны хальсыг ямар ч материалыг бэлтгэх боломжтой болсон. Учир нь байг ямар нэгэн суурь дээр цацаж бүрэх явцад цацдаг тул цацагдсан хальсны чанарт чухал нөлөө үзүүлдэг тул байны материалын шаардлага илүү хатуу байдаг. Байны материалыг сонгохдоо хальсыг өөрөө сонгохоос гадна дараахь асуудлыг анхаарч үзэх хэрэгтэй.
1. Бай материал нь хальс үүссэний дараа сайн механик бат бэх, химийн тогтвортой байдалтай байх ёстой.
2. Бай болон субстратын хослол нь бат бөх байх ёстой бөгөөд эс тэгвээс суурь нь мембраны материалын сайн хослолтой байх ёстой бөгөөд эхлээд суурь хальс цацаж, дараа нь шаардлагатай мембраны давхаргыг бэлтгэнэ.
3. Шүрших урвалын үед мембраны материал нь хийтэй урвалд орж, мембраны нэгдлүүдийг үүсгэхэд хялбар байх ёстой; 4.
4. Мембраны гүйцэтгэлийн шаардлагыг хангахын тулд зорилтот материалын дулааны тэлэлтийн коэффициент болон суурь материалын хоорондох зөрүүг аль болох бага байлгах хэрэгтэй бөгөөд ингэснээр цацагдсан мембранд дулааны стрессийн нөлөөллийг хамгийн бага байлгах хэрэгтэй.
Цацрагийн хальсны дулааны стрессийн нөлөө; 5.
5. Мембраны хэрэглээ болон гүйцэтгэлийн шаардлагын дагуу зорилтот материал нь цэвэршилт, хольцын агууламж, бүрэлдэхүүн хэсгийн жигд байдал, боловсруулалтын нарийвчлал болон бусад техникийн шаардлагыг хангасан байх ёстой.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 21