Dengan perkembangan teknologi salutan percikan yang semakin meningkat, terutamanya teknologi salutan percikan magnetron, pada masa ini, filem sasaran pengeboman ion boleh disediakan untuk sebarang bahan. Kerana sasaran dispersi dalam proses salutannya kepada sejenis substrat, kualiti filem percikan mempunyai kesan yang penting, oleh itu, keperluan bahan sasaran juga lebih ketat. Dalam pemilihan bahan sasaran, selain penggunaan filem itu sendiri, isu-isu berikut juga perlu dipertimbangkan:
1. Bahan sasaran harus mempunyai kekuatan mekanikal dan kestabilan kimia yang baik selepas pembentukan filem
2. Gabungan sasaran dan substrat mestilah kuat, jika tidak, substrat hendaklah digabungkan dengan bahan membran yang baik, pertama sekali lapisan asas dipadatkan dan kemudian lapisan membran yang diperlukan disediakan.
3 sebagai tindak balas, bahan membran percikan mestilah mudah bertindak balas dengan gas untuk menghasilkan sebatian membran; 4.
4. Di bawah premis memenuhi keperluan prestasi membran, perbezaan antara pekali pengembangan haba bahan sasaran dan substrat adalah sekecil mungkin, untuk meminimumkan kesan tekanan haba pada membran yang tergagap-gagap.
Pengaruh tegasan haba filem percikan; 5.
5. Mengikut keperluan penggunaan dan prestasi membran, bahan sasaran mesti memenuhi ketulenan, kandungan bendasing, keseragaman komponen, ketepatan pemesinan dan keperluan teknikal yang lain.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 21 Dis-2023