مع التطور المتزايد لتقنية الطلاء بالرش، وخاصةً تقنية الطلاء بالرش المغناطيسي، أصبح من الممكن حاليًا تحضير أي مادة باستخدام طبقة هدف قصف الأيونات. ونظرًا لأن الهدف يُرش أثناء عملية الطلاء على أي نوع من الركائز، فإن جودة طبقة الرش تؤثر بشكل كبير، وبالتالي، أصبحت متطلبات مادة الهدف أكثر دقة. عند اختيار مادة الهدف، بالإضافة إلى اختيار الطبقة نفسها، يجب مراعاة النقاط التالية:
1. يجب أن تتمتع المادة المستهدفة بقوة ميكانيكية جيدة واستقرار كيميائي بعد تكوين الغشاء
2. يجب أن يكون مزيج الهدف والركيزة قويًا، وإلا فيجب أن يتم اختيار الركيزة التي تحتوي على مزيج جيد من مادة الغشاء، وذلك عن طريق رش طبقة أساسية أولاً ثم تحضير طبقة الغشاء المطلوبة.
3- يجب أن تكون مادة غشاء الترسيب التفاعلي سهلة التفاعل مع الغاز لتوليد غشاء مركب؛ 4.
4. في ظل افتراض تلبية متطلبات أداء الغشاء، يكون الفرق بين معامل التمدد الحراري للمادة المستهدفة والركيزة صغيرًا قدر الإمكان، وذلك لتقليل تأثير الإجهاد الحراري على الغشاء المرشوش.
تأثير الإجهاد الحراري على طبقة الترسيب بالرش؛ 5.
5. وفقًا لمتطلبات الاستخدام والأداء للغشاء، يجب أن تستوفي المادة المستهدفة متطلبات النقاء ومحتوى الشوائب وتجانس المكونات ودقة التصنيع وغيرها من المتطلبات الفنية.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 21 ديسمبر 2023

