Faatasi ai ma le faatupulaia o le atinaeina o tekinolosi ufiufi sputtering, aemaise lava le tekinolosi ufiufi magnetron sputtering, i le taimi nei, mo soʻo se meafaitino e mafai ona saunia e ala i le ion bombardment target film, ona o le sini e sputtering i le faagasologa o le ufiufiina i se ituaiga substrate, o le lelei o le sputtering film e iai sona aafiaga taua, o lea la, o manaoga o le sini meafaitino e sili atu foi ona faigata. I le filifilia o le sini meafaitino, e le gata i le faaaogaina o le ata lava ia e tatau ona filifilia, ae tatau foi ona mafaufau i mataupu nei:
1. E tatau ona i ai le malosi lelei fa'amekanika ma le mautu fa'akemikolo i le mea fa'amoemoeina pe a uma ona fausia le ata tifaga
2. E tatau ona malosi le tu'ufa'atasiga o le sini ma le substrate, a leai e tatau ona fa'atasi ma le substrate o lo'o i ai se tu'ufa'atasiga lelei o mea membrane, muamua fa'asusu se ata tifaga fa'avae ona saunia lea o le vaega membrane mana'omia.
3 e pei o se tali atu i le sputtering membrane e tatau ona faigofie ona tali atu ma le kesi e faʻatupu ai ni vailaʻau o le membrane; 4.
4. I lalo o le fa'amoemoega o le fa'ataunu'uina o mana'oga o le fa'atinoga o le membrane, o le eseesega i le va o le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela o le mea fa'atatau ma le substrate e la'ititi lava e mafai ai, ina ia fa'aitiitia ai le a'afiaga o le atuatuvalega vevela i luga o le membrane sputtered.
O le aafiaga o le atuatuvalega fa'avevela o le ata tifaga sputtering; 5.
5. E tusa ai ma manaʻoga faʻaoga ma le faʻatinoga o le membrane, e tatau i le mea faʻamoemoe ona ausia le mama, mea leaga, tutusa o vaega, saʻo o le masini ma isi manaʻoga faʻapitoa.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Tesema-21-2023