Với sự phát triển ngày càng tăng của công nghệ phủ màng bằng phương pháp phún xạ, đặc biệt là công nghệ phủ màng bằng phún xạ magnetron, hiện nay, bất kỳ vật liệu nào cũng có thể được chế tạo bằng màng bia bắn phá ion. Vì bia được phún xạ trong quá trình phủ lên một loại chất nền nào đó, chất lượng của màng phún xạ có ảnh hưởng rất quan trọng, do đó, yêu cầu đối với vật liệu bia cũng khắt khe hơn. Trong việc lựa chọn vật liệu bia, ngoài việc lựa chọn bản thân màng cần phải đáp ứng các vấn đề sau:
1. Vật liệu mục tiêu cần có độ bền cơ học và độ ổn định hóa học tốt sau khi tạo màng.
2. Sự kết hợp giữa vật liệu đích và chất nền phải bền chắc, nếu không thì nên chọn chất nền có sự kết hợp tốt với vật liệu màng, trước tiên phủ một lớp màng nền bằng phương pháp phún xạ, sau đó mới chuẩn bị lớp màng cần thiết.
3. Vật liệu màng phản ứng phun phải dễ phản ứng với khí để tạo ra màng hợp chất; 4.
4. Trên cơ sở đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất màng, sự khác biệt giữa hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu đích và chất nền càng nhỏ càng tốt, nhằm giảm thiểu ảnh hưởng của ứng suất nhiệt lên màng được lắng đọng bằng phương pháp phún xạ.
Ảnh hưởng của ứng suất nhiệt lên màng lắng đọng bằng phương pháp phún xạ; 5.
5. Theo yêu cầu về công dụng và hiệu năng của màng lọc, vật liệu cần lọc phải đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật về độ tinh khiết, hàm lượng tạp chất, độ đồng nhất thành phần, độ chính xác gia công và các yêu cầu khác.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 21/12/2023