Site na mmụba nke teknụzụ mkpuchi sputtering, ọkachasị teknụzụ mkpuchi magnetron sputtering, ugbu a, enwere ike ịkwadebe ihe ọ bụla site na ihe nkiri ion bombardment, n'ihi na ihe a na-etinye na ya na ụdị substrate, ogo nke ihe nkiri sputtered nwere mmetụta dị mkpa, ya mere, ihe achọrọ maka ihe a na-etinye na ya dịkwa oke njọ. Na nhọrọ nke ihe a na-etinye na ya, na mgbakwunye na iji ihe nkiri ahụ n'onwe ya, a ga-atụlekwa okwu ndị a:
1. Ihe e ji mee ihe kwesịrị inwe ike igwe dị mma na nkwụsi ike kemịkalụ mgbe e mechara ihe nkiri ahụ
2. Nchikota ihe mgbaru ọsọ na ihe nkwado ga-adị ike, ma ọ bụghị ya, a ga-ewere ya na ihe nkwado ahụ nwere ezigbo ngwakọta nke ihe mkpuchi, na-ebu ụzọ fesa ihe nkiri isi wee kwadebe oyi akwa akpụkpọ ahụ achọrọ.
3 dị ka ihe na-eme ka akpụkpọ ahụ na-agbasa mmeghachi omume ga-adị mfe imeghachi omume na gas iji mepụta akpụkpọ ahụ; 4.
4. N'okpuru echiche nke imezu ihe achọrọ maka arụmọrụ akpụkpọ ahụ, ọdịiche dị n'etiti oke mgbasawanye okpomọkụ nke ihe a na-elekwasị anya na ihe ndabere dị obere dịka o kwere mee, iji belata mmetụta nke nrụgide okpomọkụ na akpụkpọ ahụ a pịrị apị.
Mmetụta nke nrụgide okpomọkụ nke ihe nkiri na-agbapụta mmiri; 5.
5. Dịka ihe eji eme ihe na arụmọrụ nke akpụkpọ ahụ si dị, ihe a chọrọ ga-emezu ịdị ọcha, ọdịnaya adịghị ọcha, otu ihe mejupụtara ya, izi ezi nke igwe na ihe ndị ọzọ achọrọ maka teknụzụ.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Disemba-21-2023