ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍកាន់តែខ្លាំងឡើងនៃបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering ជាពិសេសបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering magnetron នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ សម្រាប់សម្ភារៈណាមួយអាចត្រូវបានរៀបចំដោយខ្សែភាពយន្តគោលដៅទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ដោយសារតែគោលដៅត្រូវបាន sputtering នៅក្នុងដំណើរការនៃការស្រោបវាទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមមួយចំនួន គុណភាពនៃខ្សែភាពយន្ត sputtering មានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ ដូច្នេះតម្រូវការនៃសម្ភារៈគោលដៅក៏កាន់តែតឹងរ៉ឹងផងដែរ។ ក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅ បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តខ្លួនឯងគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើស ក៏គួរពិចារណាលើបញ្ហាដូចខាងក្រោម៖
1. សម្ភារៈគោលដៅគួរតែមានកម្លាំងមេកានិចល្អ និងស្ថេរភាពគីមីបន្ទាប់ពីការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត
2. ការរួមបញ្ចូលគ្នារវាងគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវតែរឹងមាំ បើមិនដូច្នោះទេ គួរតែយកស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានការរួមបញ្ចូលគ្នាល្អនៃសម្ភារៈភ្នាស ដោយបាញ់ស្រទាប់មូលដ្ឋានជាមុនសិន ហើយបន្ទាប់មករៀបចំស្រទាប់ភ្នាសដែលត្រូវការ។
៣. ជាប្រតិកម្ម សម្ភារៈភ្នាសបញ្ចេញឧស្ម័នត្រូវតែងាយប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័ន ដើម្បីបង្កើតភ្នាសសមាសធាតុ។
៤. ក្រោមគោលការណ៍នៃការបំពេញតាមតម្រូវការនៃដំណើរការភ្នាស ភាពខុសគ្នារវាងមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃវត្ថុធាតុគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺតូចបំផុតតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន ដើម្បីកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅលើភ្នាសដែលប្រឡាក់។
ឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅនៃខ្សែភាពយន្ត sputtering; 5.
៥. យោងតាមតម្រូវការប្រើប្រាស់ និងដំណើរការនៃភ្នាស សម្ភារៈគោលដៅត្រូវតែបំពេញតាមភាពបរិសុទ្ធ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ ឯកសណ្ឋាននៃសមាសធាតុ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកែច្នៃ និងតម្រូវការបច្ចេកទេសផ្សេងៗទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៣