Purkash qoplama texnologiyasining, ayniqsa magnetron purkash qoplama texnologiyasining tobora rivojlanishi bilan, hozirgi vaqtda har qanday material uchun ion bombardimon nishon plyonkasini tayyorlash mumkin, chunki nishon uni biron bir substratga qoplash jarayonida purkaladi, purkash plyonka sifati muhim ta'sir ko'rsatadi, shuning uchun nishon materialiga qo'yiladigan talablar ham qat'iyroq. Nishon materialni tanlashda, plyonkaning o'zidan foydalanishdan tashqari, quyidagi masalalarni ham ko'rib chiqish kerak:
1. Plyonka hosil bo'lgandan keyin maqsadli material yaxshi mexanik kuchga va kimyoviy barqarorlikka ega bo'lishi kerak
2. Nishon va substrat kombinatsiyasi kuchli bo'lishi kerak, aks holda substrat membrana materialining yaxshi kombinatsiyasiga ega bo'lishi kerak, avval taglik plyonkasini purkash va keyin kerakli membrana qatlamini tayyorlash kerak.
3. Purkash reaksiyasi sifatida membrana materiali membrana birikmalarini hosil qilish uchun gaz bilan oson reaksiyaga kirishishi kerak; 4.
4. Membrananing ishlash talablariga javob berish sharti bilan, maqsadli material va substratning issiqlik kengayish koeffitsienti o'rtasidagi farq iloji boricha kichik bo'lishi kerak, bu esa termal stressning purkalgan membranaga ta'sirini minimallashtirishga imkon beradi.
Purkaydigan plyonkaning termal stressining ta'siri; 5.
5. Membrananing foydalanish va ishlash talablariga muvofiq, maqsadli material soflik, nopoklik miqdori, komponentlarning bir xilligi, ishlov berish aniqligi va boshqa texnik talablarga javob berishi kerak.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 21-dekabr