Сиптерү белән каплау технологиясенең, бигрәк тә магнетрон сиптерү белән каплау технологиясенең үсеше белән, хәзерге вакытта теләсә нинди материал өчен ион бомбардированиесе ярдәмендә максатлы пленка әзерләргә мөмкин, чөнки максат ниндидер субстратка каплау процессында сиптерелә, сиптерү белән капланган пленканың сыйфаты мөһим йогынты ясый, шуңа күрә максатлы материалга таләпләр дә катгыйрак. Максатлы материалны сайлаганда, пленканың үзен кулланудан тыш, түбәндәге мәсьәләләрне дә исәпкә алырга кирәк:
1. Пленка барлыкка килгәннән соң, максатчан материал яхшы механик ныклыкка һәм химик тотрыклылыкка ия булырга тиеш
2. Максат һәм субстрат берләшмәсе нык булырга тиеш, югыйсә субстрат мембрана материалының яхшы кушылмасына ия булырга тиеш, башта нигез пленкасын сиптерергә, аннары кирәкле мембрана катламын әзерләргә кирәк.
3. Сиптерү реакциясе буларак, мембрана материалы газ белән җиңел реакциягә кереп, мембрана кушылмалары барлыкка китерергә тиеш; 4.
4. Мембрананың эшләү таләпләрен үтәү шарты астында, максатлы материалның һәм нигезнең җылылык киңәю коэффициенты арасындагы аерма мөмкин кадәр аз булырга тиеш, шул рәвешле сиптерелгән мембранага җылылык көчәнешенең йогынтысын минимальләштерергә кирәк.
Сиптерүче пленканың җылылык көчәнешенең йогынтысы; 5.
5. Мембрананың куллану һәм эшләү таләпләренә туры китереп, максатчан материал сафлыкка, пычраклык күләменә, компонентларның бердәмлегенә, эшкәртү төгәллегенә һәм башка техник таләпләргә туры килергә тиеш.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 21 декабре

