Dökülýän örtük tehnologiýasynyň, esasanam magnitron tüýdük örtük tehnologiýasynyň ösmegi bilen, häzirki wagtda islendik material üçin ion bombalanmagy maksatly film bilen taýýarlanyp bilner, sebäbi nyşanyň haýsydyr bir substrata örtülmegi sebäpli pyçaklanan filmiň hili möhüm täsir edýär, şonuň üçin maksat materialyň talaplary has berk bolýar. Maksatly material saýlanylanda, filmiň ulanylmagyndan başga-da, aşakdaky meselelere hem üns bermeli:
1. Maksatly material film döredilenden soň gowy mehaniki güýje we himiki durnuklylyga eýe bolmalydyr
2. Maksat we substrat kombinasiýasy güýçli bolmaly, ýogsam substrat bilen membrana materialynyň gowy kombinasiýasy bolmaly, ilki esasy filmi döküp, soňra zerur membrana gatlagyny taýýarlamaly.
3 reaksiýa hökmünde dökülýän membrananyň materialy birleşmeler membranasyny döretmek üçin gaz bilen reaksiýa aňsat bolmaly; 4.
4. Membrananyň işleýşiniň talaplaryna laýyk gelmek maksady bilen, termiki stresiň tüýkürilen membrana täsirini azaltmak üçin maksat materialyň ýylylyk giňelme koeffisiýenti bilen substratyň arasyndaky tapawut mümkin boldugyça az.
Tüýdükli filmiň ýylylyk stresiniň täsiri; 5.
5. Membrananyň ulanylyşyna we öndürijilik talaplaryna laýyklykda maksatly material arassalygy, haramlygy, komponentleriň birmeňzeşligi, işlemegiň takyklygy we beýleki tehniki talaplara laýyk gelmelidir.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 21-2023-nji dekabry