Püskürtme wakuum örtügi substrata materiallaryň inçe plýonkalaryny goýmak üçin ulanylýan enjamdyr. Bu proses adatça ýarymgeçirijileriň, gün batareýalarynyň we optiki we elektroniki ulanylyşlar üçin dürli örtükleriň önümçiliginde ulanylýar. Onuň nähili işleýändigi barada esasy maglumat:
1. Wakuum kamerasy: Bu proses hapalanmany azaltmak we çökündi prosesine has gowy gözegçilik etmek üçin wakuum kamerasynyň içinde amala aşyrylýar.
2. Nyşana goýulýan material: Goýuljak material nyşana diýlip atlandyrylýar. Ol wakuum kamerasynyň içine ýerleşdirilýär.
3. Substrat: Substrat inçe plýonkanyň goýuljak materialydyr. Ol şeýle hem wakuum kamerasynyň içine ýerleşdirilýär.
4. Plazmanyň döremegi: Kameranyň içine inert gaz, adatça argon, girizilýär. Nyşana ýokary naprýaženiýe berilýär we plazma (erkin elektronlardan we ionlardan ybarat maddanyň ýagdaýy) emele gelýär.
5. Püskürme: Plazmadan çykýan ionlar nyşana material bilen çaknyşýar we atomlary ýa-da molekulalary nyşanadan çykarýar. Soňra bu bölejikler wakuumdan geçip, substrata çökýär we inçe örtük emele getirýär.
6. Dolandyryş: Nyşana berilýän güýç, inert gazyň basyşy we püskürtme prosesiniň dowamlylygy ýaly parametrleri sazlamak arkaly plýonkanyň galyňlygyny we düzümini takyk dolandyryp bolýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 12-nji iýuly