Sekoahelo sa vacuum se sputtering ke sesebelisoa se sebelisetsoang ho beha lifilimi tse tšesaane tsa thepa holim'a substrate. Ts'ebetso ena e sebelisoa hangata tlhahisong ea li-semiconductor, lisele tsa letsatsi, le mefuta e fapaneng ea lipente bakeng sa lits'ebetso tsa optical le tsa elektroniki. Mona ke kakaretso ea motheo ea hore na e sebetsa joang:
1. Kamore ea Vacuum: Ts'ebetso ena e etsahala ka har'a kamore ea vacuum ho fokotsa tšilafalo le ho lumella taolo e betere ts'ebetsong ea ho beoa ha lintho.
2. Thepa e reretsoeng: Thepa e lokelang ho beoa e tsejoa e le sepheo. Sena se beoa ka har'a kamore ea vacuum.
3. Substrate: Substrate ke thepa eo filimi e tšesaane e tla beoa ho eona. E boetse e beoa ka har'a kamore ea vacuum.
4. Tlhahiso ea Plasma: Khase e sa sebetseng, eo hangata e leng argon, e kenngoa ka kamoreng. Motlakase o phahameng o sebelisoa ho sepheo, ho theha plasma (boemo ba taba bo nang le lielektrone le li-ion tse lokolohileng).
5. Ho qhalana: Li-ion tse tsoang plasma li thulana le thepa e reretsoeng, li liha liathomo kapa limolek'hule ho tloha sepheong. Likaroloana tsena li tsamaea ka har'a vacuum ebe li its'oara holim'a substrate, li etsa filimi e tšesaane.
6.Taolo: Botenya le sebopeho sa filimi di ka laolwa ka nepo ka ho fetola diparamitha tse kang matla a sebediswang ho sepheo, kgatello ya kgase e sa sebetseng, le nako ya tshebetso ya ho ntsha metsi.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Phupu-12-2024