جهاز الترسيب الفراغي بالرش هو جهاز يُستخدم لترسيب طبقات رقيقة من المواد على سطح ما. تُستخدم هذه العملية بشكل شائع في إنتاج أشباه الموصلات والخلايا الشمسية وأنواع مختلفة من الطلاءات للتطبيقات البصرية والإلكترونية. إليك شرحًا مبسطًا لكيفية عملها:
1. غرفة التفريغ: تتم العملية داخل غرفة تفريغ لتقليل التلوث والسماح بتحكم أفضل في عملية الترسيب.
2. المادة المستهدفة: تُعرف المادة المراد ترسيبها بالهدف. ويتم وضعها داخل حجرة التفريغ.
3. الركيزة: الركيزة هي المادة التي سيتم ترسيب الغشاء الرقيق عليها. وهي توضع أيضاً داخل حجرة التفريغ.
4. توليد البلازما: يتم إدخال غاز خامل، عادةً الأرجون، إلى الحجرة. يتم تطبيق جهد كهربائي عالٍ على الهدف، مما يؤدي إلى تكوين البلازما (حالة من حالات المادة تتكون من إلكترونات وأيونات حرة).
5. التذرية: تصطدم الأيونات المنبعثة من البلازما بالمادة المستهدفة، فتقتلع الذرات أو الجزيئات منها. ثم تنتقل هذه الجسيمات عبر الفراغ وتترسب على الركيزة، مكونةً طبقة رقيقة.
6. التحكم: يمكن التحكم بدقة في سمك وتركيب الفيلم عن طريق ضبط معلمات مثل الطاقة المطبقة على الهدف، وضغط الغاز الخامل، ومدة عملية التذرية.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 12 يوليو 2024