Püskürtmə vakuum örtüyü, substrat üzərinə nazik material təbəqələri çəkmək üçün istifadə olunan bir cihazdır. Bu proses adətən yarımkeçiricilərin, günəş batareyalarının və optik və elektron tətbiqlər üçün müxtəlif növ örtüklərin istehsalında istifadə olunur. Onun necə işlədiyinə dair əsas məlumat:
1. Vakuum Kamerası: Çirklənməni azaltmaq və çökmə prosesinə daha yaxşı nəzarət etmək üçün proses vakuum kamerasının içərisində baş verir.
2. Hədəf Materialı: Çökdürüləcək material hədəf adlanır. Bu material vakuum kamerasının içərisinə yerləşdirilir.
3. Substrat: Substrat nazik təbəqənin çökdürüləcəyi materialdır. O, həmçinin vakuum kamerasının içərisinə yerləşdirilir.
4. Plazmanın əmələ gəlməsi: Kameraya adətən arqon olan inert qaz daxil edilir. Hədəfə yüksək gərginlik tətbiq olunur və plazma (sərbəst elektron və ionlardan ibarət maddə halı) yaranır.
5. Püskürtmə: Plazmadan gələn ionlar hədəf materialla toqquşaraq atomları və ya molekulları hədəfdən uzaqlaşdırır. Daha sonra bu hissəciklər vakuumdan keçərək substrata çökərək nazik bir təbəqə əmələ gətirir.
6. Nəzarət: Hədəfə tətbiq olunan güc, inert qazın təzyiqi və püskürtmə prosesinin müddəti kimi parametrləri tənzimləməklə filmin qalınlığı və tərkibi dəqiq şəkildə idarə oluna bilər.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 12 iyul 2024