Lub tshuab nqus tsev sputtering yog ib lub cuab yeej siv los tso cov zaj duab xis nyias nyias ntawm cov khoom rau ntawm ib lub substrate. Cov txheej txheem no feem ntau siv rau hauv kev tsim cov semiconductors, cov roj teeb hnub ci, thiab ntau hom coatings rau kev siv optical thiab electronic. Nov yog ib qho kev piav qhia yooj yim ntawm nws ua haujlwm li cas:
1. Chav nqus tsev: Cov txheej txheem tshwm sim hauv chav nqus tsev kom txo cov kuab paug thiab tso cai rau kev tswj hwm zoo dua ntawm cov txheej txheem tso dej.
2. Cov Khoom Siv Rau Lub Hom Phiaj: Cov khoom siv uas yuav tsum tau muab tso rau hauv lub hom phiaj. Qhov no tau muab tso rau hauv lub tshuab nqus tsev.
3. Cov khoom siv hauv qab: Cov khoom siv hauv qab yog cov khoom siv uas cov zaj duab xis nyias yuav raug tso rau. Nws kuj tseem muab tso rau hauv lub tshuab nqus tsev.
4. Kev Tsim Plasma: Ib qho roj inert, feem ntau yog argon, raug coj mus rau hauv lub chamber. Ib qho hluav taws xob siab raug siv rau lub hom phiaj, tsim cov plasma (lub xeev ntawm cov khoom muaj cov electrons dawb thiab ions).
5. Kev Tawm Tsam: Cov ions los ntawm cov plasma sib tsoo nrog cov khoom siv, ua rau cov atoms lossis molecules tawm ntawm lub hom phiaj. Cov khoom me me no ces mus ncig los ntawm lub tshuab nqus tsev thiab tso rau ntawm lub substrate, tsim ib daim nyias nyias.
6. Kev Tswj: Qhov tuab thiab cov qauv ntawm zaj duab xis tuaj yeem tswj tau meej los ntawm kev kho cov kev txwv xws li lub zog siv rau lub hom phiaj, qhov siab ntawm cov roj inert, thiab lub sijhawm ntawm cov txheej txheem sputtering.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Xya Hli-12-2024