Purkaydigan vakuumli qoplama - bu substratga yupqa material plyonkalarini qo'yish uchun ishlatiladigan qurilma. Bu jarayon odatda yarimo'tkazgichlar, quyosh batareyalari va optik va elektron qo'llanmalar uchun turli xil qoplamalar ishlab chiqarishda qo'llaniladi. Uning qanday ishlashi haqida asosiy ma'lumot:
1. Vakuum kamerasi: Jarayon ifloslanishni kamaytirish va cho'ktirish jarayonini yaxshiroq nazorat qilish uchun vakuum kamerasi ichida amalga oshiriladi.
2. Nishon materiali: Cho'ktiriladigan material nishon deb nomlanadi. U vakuum kamerasiga joylashtiriladi.
3. Substrat: Substrat yupqa plyonka yotqiziladigan materialdir. U shuningdek, vakuum kamerasiga joylashtiriladi.
4. Plazma hosil bo'lishi: Kameraga odatda argon bo'lgan inert gaz kiritiladi. Nishonga yuqori kuchlanish qo'llaniladi va plazma (erkin elektronlar va ionlardan iborat modda holati) hosil bo'ladi.
5. Plazmadagi ionlar nishon material bilan to'qnashib, nishondan atomlar yoki molekulalarni yiqitadi. Keyin bu zarralar vakuum orqali o'tib, substratga joylashib, yupqa plyonka hosil qiladi.
6. Boshqarish: Plyonkaning qalinligi va tarkibini nishonga qo'llaniladigan quvvat, inert gaz bosimi va purkash jarayonining davomiyligi kabi parametrlarni sozlash orqali aniq boshqarish mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2024-yil 12-iyul