Aṣọ ìfọ́mọ́ra sputtering jẹ́ ẹ̀rọ kan tí a ń lò láti fi àwọn fíìmù tín-tín ti ohun èlò sí orí ohun èlò kan. A sábà máa ń lo ìlànà yìí nínú ṣíṣe àwọn semiconductors, àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn, àti onírúurú ìbòrí fún àwọn ohun èlò opitika àti ẹ̀rọ itanna. Àkópọ̀ ìpìlẹ̀ bí ó ṣe ń ṣiṣẹ́ nìyí:
1. Yàrá Ìfàmọ́ra: Ìlànà náà ń wáyé nínú yàrá ìfàmọ́ra láti dín ìbàjẹ́ kù kí ó sì jẹ́ kí a lè ṣàkóso rẹ̀ dáadáa lórí ìlànà ìfipamọ́.
2. Ohun Èlò Àfojúsùn: Ohun èlò tí a fẹ́ kó pamọ́ ni a mọ̀ sí ohun tí a fẹ́ kó pamọ́. A gbé e sí inú yàrá afẹ́fẹ́.
3. Àpò ìsàlẹ̀: Àpò ìsàlẹ̀ ni ohun èlò tí a ó fi fíìmù tín-ín-rín náà sí. A tún gbé e sí inú yàrá afẹ́fẹ́.
4.Ìṣẹ̀dá Plasma: A máa ń gbé gaasi aláìlera kan, tí ó sábà máa ń jẹ́ argon, sínú yàrá náà. A máa ń lo foliteji gíga kan sí ibi tí a fẹ́ gbé e sí, èyí tí yóò sì ṣẹ̀dá plasma kan (ipò ohun tí ó ní àwọn elekitironi àti àwọn ion ọ̀fẹ́).
5. Ìfọ́nká: Àwọn ion láti inú plasma máa ń gbá ara wọn mọ́ ohun tí a fẹ́ lò, wọ́n á máa já àwọn átọ̀mù tàbí molecule kúrò lára ohun tí a fẹ́ lò. Àwọn pàtákì wọ̀nyí á wá gba inú vacuum náà kọjá, wọ́n á sì wọ́ ara wọn sórí substrate, wọ́n á sì di fíìmù tín-tín.
6. Ìṣàkóso: A lè ṣàkóso sisanra àti ìṣẹ̀dá fíìmù náà dáadáa nípa ṣíṣe àtúnṣe àwọn pàrámítà bíi agbára tí a lò sí ibi tí a fẹ́ lò ó, ìfúnpá gáàsì aláìṣiṣẹ́, àti àkókò tí a fi ń ṣe é.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-12-2024