స్పుటరింగ్ వాక్యూమ్ కోటర్ అనేది ఒక సబ్స్ట్రేట్పై పదార్థపు పలుచని పొరలను పూయడానికి ఉపయోగించే ఒక పరికరం. ఈ ప్రక్రియను సాధారణంగా సెమీకండక్టర్లు, సోలార్ సెల్స్, మరియు ఆప్టికల్, ఎలక్ట్రానిక్ అనువర్తనాల కోసం వివిధ రకాల కోటింగ్ల ఉత్పత్తిలో ఉపయోగిస్తారు. ఇది ఎలా పనిచేస్తుందో ఇక్కడ ఒక ప్రాథమిక అవలోకనం ఉంది:
1. వాక్యూమ్ ఛాంబర్: కాలుష్యాన్ని తగ్గించడానికి మరియు డిపాజిషన్ ప్రక్రియపై మెరుగైన నియంత్రణను అందించడానికి ఈ ప్రక్రియ వాక్యూమ్ ఛాంబర్ లోపల జరుగుతుంది.
2. లక్ష్య పదార్థం: నిక్షేపించాల్సిన పదార్థాన్ని లక్ష్యం అంటారు. దీనిని వాక్యూమ్ ఛాంబర్ లోపల ఉంచుతారు.
3. సబ్స్ట్రేట్: సబ్స్ట్రేట్ అనేది పలుచని పొరను నిక్షేపించే పదార్థం. దీనిని కూడా వాక్యూమ్ ఛాంబర్ లోపల ఉంచుతారు.
4. ప్లాస్మా ఉత్పత్తి: ఛాంబర్లోకి సాధారణంగా ఆర్గాన్ వంటి జడ వాయువును ప్రవేశపెడతారు. టార్గెట్కు అధిక వోల్టేజ్ వర్తింపజేయడం ద్వారా ప్లాస్మా (స్వేచ్ఛా ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అయాన్లతో కూడిన పదార్థ స్థితి) ఏర్పడుతుంది.
5. స్పుటరింగ్: ప్లాస్మా నుండి వెలువడే అయాన్లు టార్గెట్ మెటీరియల్ను ఢీకొంటాయి, దీనివల్ల టార్గెట్ నుండి పరమాణువులు లేదా అణువులు వేరుపడతాయి. ఆ తర్వాత ఈ కణాలు వాక్యూమ్ గుండా ప్రయాణించి సబ్స్ట్రేట్పై పేరుకుపోయి, ఒక పలుచని పొరను ఏర్పరుస్తాయి.
6. నియంత్రణ: టార్గెట్కు అందించే శక్తి, జడ వాయువు యొక్క పీడనం మరియు స్పుటరింగ్ ప్రక్రియ యొక్క వ్యవధి వంటి పారామితులను సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క మందం మరియు కూర్పును ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జూలై-12-2024