Вакуум бүрэгч нь суурь дээр нимгэн материалын хальс түрхэхэд ашигладаг төхөөрөмж юм. Энэ процессыг хагас дамжуулагч, нарны зай хураагуур, оптик болон электрон хэрэглээнд зориулсан төрөл бүрийн бүрхүүл үйлдвэрлэхэд түгээмэл ашигладаг. Энэ нь хэрхэн ажилладаг талаарх үндсэн тоймыг энд оруулав.
1. Вакуум камер: Бохирдлыг бууруулж, тунадасжуулалтын процессыг илүү сайн хянах боломжийг олгохын тулд энэ процессыг вакуум камер дотор явуулдаг.
2. Бай материал: Хадгалах материалыг бай гэж нэрлэдэг бөгөөд үүнийг вакуум камерт байрлуулдаг.
3.Суурь: Субстрат нь нимгэн хальсыг түрхэх материал юм. Үүнийг мөн вакуум камерт байрлуулдаг.
4. Плазмын үүсэлт: Идэвхгүй хий, ихэвчлэн аргоныг камерт оруулдаг. Байнд өндөр хүчдэл өгч, плазм (чөлөөт электрон ба ионоос бүрдсэн бодисын төлөв) үүсгэдэг.
5. Шүрших: Плазмын ионууд нь бай материалтай мөргөлдөж, байнаас атом эсвэл молекулуудыг унагадаг. Дараа нь эдгээр хэсгүүд вакуумаар дамжин суурь дээр хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
6. Хяналт: Байнд өгөх хүч, идэвхгүй хийн даралт, цацах үйл явцын үргэлжлэх хугацаа зэрэг параметрүүдийг тохируулснаар хальсны зузаан болон найрлагыг нарийн хянаж болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 7-р сарын 12