Пӯшиши вакуумии пошиданӣ дастгоҳест, ки барои гузоштани плёнкаҳои тунуки мавод ба рӯи субстрат истифода мешавад. Ин раванд одатан дар истеҳсоли нимноқилҳо, батареяҳои офтобӣ ва намудҳои гуногуни рӯйпӯшҳо барои барномаҳои оптикӣ ва электронӣ истифода мешавад. Дар ин ҷо шарҳи асосии тарзи кори он оварда шудааст:
1. Камераи вакуумӣ: Раванд дар дохили камераи вакуумӣ сурат мегирад, то ифлосшавиро кам кунад ва назорати беҳтари раванди таҳшинкуниро таъмин намояд.
2. Маводи мақсаднок: Маводи гузошташаванда ҳамчун ҳадаф маълум аст. Он дар дохили камераи вакуумӣ ҷойгир карда мешавад.
3. Табақа: Табақа маводест, ки плёнкаи тунук ба он гузошта мешавад. Он инчунин дар дохили камераи вакуумӣ ҷойгир карда мешавад.
4. Тавлиди плазма: Гази инертӣ, одатан аргон, ба камера ворид карда мешавад. Ба ҳадаф шиддати баланд дода мешавад ва плазма (ҳолати моддае, ки аз электронҳо ва ионҳои озод иборат аст) ба вуҷуд меояд.
5. Пошидани модда: Ионҳо аз плазма бо маводи мавриди ҳадаф бархӯрда, атомҳо ё молекулаҳоро аз ҳадаф берун мекунанд. Сипас ин зарраҳо аз вакуум гузашта, ба рӯи субстрат ҷойгир шуда, як плёнкаи тунукро ташкил медиҳанд.
6. Назорат: Ғафсӣ ва таркиби плёнкаро бо роҳи танзими параметрҳо, ба монанди қувваи татбиқшаванда ба ҳадаф, фишори гази инертӣ ва давомнокии раванди пошидан, дақиқ назорат кардан мумкин аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 12 июли соли 2024