Чачыратуучу вакуумдук каптоочу - бул материалдын жука пленкаларын негизге чаптоо үчүн колдонулган түзүлүш. Бул процесс көбүнчө жарым өткөргүчтөрдү, күн батареяларын жана оптикалык жана электрондук колдонмолор үчүн ар кандай каптоолорду өндүрүүдө колдонулат. Бул жерде анын кантип иштээри жөнүндө негизги маалымат берилген:
1. Вакуумдук камера: Булганууну азайтуу жана чөктүрүү процессин жакшыраак көзөмөлдөө үчүн процесс вакуумдук камеранын ичинде жүргүзүлөт.
2. Максаттуу материал: Чачырата турган материал бута деп аталат. Ал вакуум камерасынын ичине жайгаштырылат.
3. Субстрат: Субстрат – бул жука пленка төшөлө турган материал. Ал ошондой эле вакуум камерасынын ичине жайгаштырылат.
4. Плазманын пайда болушу: Камерага инерттүү газ, адатта аргон, киргизилет. Бутага жогорку чыңалуу берилип, плазма (эркин электрондордон жана иондордон турган заттын абалы) пайда болот.
5. Чачыратуу: Плазмадан чыккан иондор максаттуу материал менен кагылышып, атомдорду же молекулаларды максаттан алыстатат. Андан кийин бул бөлүкчөлөр вакуум аркылуу өтүп, субстратка түшүп, жука пленканы пайда кылат.
6. Башкаруу: Плёнканын калыңдыгын жана курамын бутага берилген кубаттуулук, инерттүү газдын басымы жана чачыратуу процессинин узактыгы сыяктуу параметрлерди тууралоо менен так башкарууга болот.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 12-июлу