Ihe mkpuchi ikuku sputtering bụ ngwaọrụ eji etinye obere ihe dị n'elu ihe. A na-ejikarị usoro a eme ihe n'imepụta semiconductors, mkpụrụ ndụ anyanwụ, na ụdị mkpuchi dị iche iche maka ojiji anya na eletrọnịkị. Nke a bụ nkọwa zuru oke nke otu o si arụ ọrụ:
1. Ụlọ Mkpofu: Usoro a na-eme n'ime ụlọ mkpofu iji belata mmetọ ma nye ohere ka e nwee njikwa ka mma n'usoro itinye ihe.
2. Ihe E Ji Eme Ihe: A maara ihe a ga-etinye dịka ihe e ji eme ihe. A na-etinye nke a n'ime ụlọ ikuku.
3. Substrate: Substrate bụ ihe a ga-etinye ihe mkpuchi ahụ dị gịrịgịrị. A na-etinyekwa ya n'ime ụlọ ikuku.
4. Mmepụta Plasma: A na-etinye gas na-adịghị arụ ọrụ, nke a na-akpọkarị argon, n'ime ụlọ ahụ. A na-etinye voltaji dị elu na ihe a na-achọ ime, na-emepụta plasma (ọnọdụ ihe mejupụtara elektrọn na ion efu).
5. Nsụpụta: Ion sitere na plasma na-adakọ na ihe a na-achọ, na-akụtu atọm ma ọ bụ molekul n'ebe ihe a na-achọ. Ihe ndị a na-agafe na vacuum wee tinye n'elu ihe ndị ahụ, na-emepụta ihe dị gịrịgịrị.
6. Njikwa: Enwere ike ijikwa ọkpụrụkpụ na nhazi nke ihe nkiri ahụ nke ọma site na ịgbanwe paramita dịka ike etinyere na ihe mgbaru ọsọ ahụ, nrụgide nke gas na-adịghị arụ ọrụ, na oge usoro sputtering ahụ.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Julaị-12-2024