ʻO kahi mea hoʻopili hakahaka sputtering kahi mea hana i hoʻohana ʻia e waiho i nā ʻili lahilahi o nā mea ma luna o kahi substrate. Hoʻohana pinepine ʻia kēia kaʻina hana i ka hana ʻana o nā semiconductors, nā cell solar, a me nā ʻano uhi like ʻole no nā noi optical a me nā uila. Eia kahi ʻike kumu o ke ʻano o kāna hana:
1. Keʻena Vacuum: Hana ʻia ke kaʻina hana i loko o kahi keʻena vacuum e hōʻemi i ka haumia a ʻae i ka kaohi maikaʻi ʻana i ke kaʻina hana waiho ʻana.
2. Mea Pahuhopu: ʻO ka mea e waiho ʻia ua kapa ʻia ʻo ia ka pahuhopu. Hoʻokomo ʻia kēia i loko o ke keʻena hakahaka.
3. Substrate: ʻO ka substrate ka mea e waiho ʻia ai ka ʻili lahilahi. Hoʻokomo ʻia hoʻi i loko o ke keʻena vacuum.
4. Hanana Plasma: Hoʻokomo ʻia kahi kinoea inert, ʻo ia hoʻi ʻo argon, i loko o ke keʻena. Hoʻopili ʻia kahi voltage kiʻekiʻe i ka pahuhopu, e hana ana i kahi plasma (kahi kūlana o ka mea i haku ʻia me nā electrons manuahi a me nā ions).
5.Sputtering: Hoʻokuʻi nā ion mai ka plasma me ka mea i manaʻo ʻia, e kīkēkē ana i nā ʻātoma a i ʻole nā molekala mai ka pahuhopu. A laila hele kēia mau ʻāpana ma o ka vacuum a waiho ma luna o ka substrate, e hana ana i kahi ʻili lahilahi.
6. Mana: Hiki ke hoʻomalu pololei ʻia ka mānoanoa a me ka haku mele ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni ma ka hoʻoponopono ʻana i nā palena e like me ka mana i hoʻopili ʻia i ka pahuhopu, ke kaomi o ke kinoea inert, a me ka lōʻihi o ke kaʻina hana sputtering.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Iulai-12-2024