स्पटरिंग व्हॅक्यूम कोटर हे सब्सट्रेटवर पदार्थाचे पातळ थर जमा करण्यासाठी वापरले जाणारे एक उपकरण आहे. ही प्रक्रिया सामान्यतः सेमीकंडक्टर, सौर पेशी (सोलर सेल्स) आणि ऑप्टिकल व इलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगांसाठी विविध प्रकारच्या कोटिंग्जच्या उत्पादनात वापरली जाते. ते कसे कार्य करते याचा एक मूलभूत आढावा येथे दिला आहे:
१. व्हॅक्यूम चेंबर: दूषितीकरण कमी करण्यासाठी आणि निक्षेपण प्रक्रियेवर अधिक चांगले नियंत्रण ठेवता यावे यासाठी ही प्रक्रिया व्हॅक्यूम चेंबरच्या आत पार पाडली जाते.
२. लक्ष्य पदार्थ: जो पदार्थ जमा करायचा आहे त्याला लक्ष्य (टार्गेट) म्हणतात. हे व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये ठेवले जाते.
३. सबस्ट्रेट: सबस्ट्रेट हे असे साहित्य आहे ज्यावर पातळ थर जमा केला जाईल. ते देखील व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये ठेवले जाते.
४. प्लाझ्मा निर्मिती: एक निष्क्रिय वायू, सामान्यतः आर्गॉन, चेंबरमध्ये सोडला जातो. लक्ष्यावर उच्च व्होल्टेज लावले जाते, ज्यामुळे प्लाझ्मा (मुक्त इलेक्ट्रॉन आणि आयन असलेली पदार्थाची अवस्था) तयार होतो.
५. स्पटरिंग: प्लाझ्मामधील आयन लक्ष्य पदार्थावर आदळतात, ज्यामुळे लक्ष्यावरील अणू किंवा रेणू वेगळे होतात. त्यानंतर हे कण निर्वात पोकळीतून प्रवास करून सब्सट्रेटवर जमा होतात आणि एक पातळ थर तयार करतात.
६. नियंत्रण: लक्ष्याला दिलेली शक्ती, निष्क्रिय वायूचा दाब आणि स्पटरिंग प्रक्रियेचा कालावधी यांसारखे मापदंड समायोजित करून फिल्मची जाडी आणि रचना अचूकपणे नियंत्रित केली जाऊ शकते.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: जुलै-१२-२०२४