स्पटरिंग वैक्यूम कोटर एक ऐसा उपकरण है जिसका उपयोग किसी सतह पर पतली परत चढ़ाने के लिए किया जाता है। इस प्रक्रिया का उपयोग आमतौर पर सेमीकंडक्टर, सौर सेल और ऑप्टिकल एवं इलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगों के लिए विभिन्न प्रकार की कोटिंग्स के उत्पादन में किया जाता है। यहाँ इसकी कार्यप्रणाली का एक संक्षिप्त विवरण दिया गया है:
1. वैक्यूम चैंबर: संदूषण को कम करने और जमाव प्रक्रिया पर बेहतर नियंत्रण रखने के लिए यह प्रक्रिया एक वैक्यूम चैंबर के अंदर होती है।
2. लक्ष्य सामग्री: जिस सामग्री को जमा करना होता है, उसे लक्ष्य कहा जाता है। इसे निर्वात कक्ष के अंदर रखा जाता है।
3. सबस्ट्रेट: सबस्ट्रेट वह पदार्थ है जिस पर पतली फिल्म जमा की जाएगी। इसे भी वैक्यूम चैंबर के अंदर रखा जाता है।
4. प्लाज्मा उत्पादन: एक अक्रिय गैस, आमतौर पर आर्गन, को कक्ष में डाला जाता है। लक्ष्य पर उच्च वोल्टेज लगाया जाता है, जिससे प्लाज्मा (मुक्त इलेक्ट्रॉनों और आयनों से बनी पदार्थ की एक अवस्था) उत्पन्न होता है।
5. स्पटरिंग: प्लाज्मा से निकलने वाले आयन लक्ष्य पदार्थ से टकराते हैं, जिससे परमाणु या अणु लक्ष्य से अलग हो जाते हैं। फिर ये कण निर्वात में यात्रा करते हैं और सब्सट्रेट पर जमा होकर एक पतली परत बनाते हैं।
6. नियंत्रण: लक्ष्य पर लगाई गई शक्ति, अक्रिय गैस का दबाव और स्पटरिंग प्रक्रिया की अवधि जैसे मापदंडों को समायोजित करके फिल्म की मोटाई और संरचना को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: 12 जुलाई 2024