I-sputtering vacuum coater sisixhobo esisetyenziselwa ukufaka iifilimu ezincinci zezinto kwi-substrate. Le nkqubo isetyenziswa kakhulu kwimveliso yee-semiconductors, iiseli zelanga, kunye neentlobo ezahlukeneyo zokugquma kwizicelo ze-optical neze-elektroniki. Nantsi inkcazo esisiseko yendlela esebenza ngayo:
1. Igumbi lokukhupha inkunkuma: Le nkqubo yenzeka ngaphakathi kwigumbi lokukhupha inkunkuma ukunciphisa ungcoliseko nokuvumela ulawulo olungcono kwinkqubo yokukhupha inkunkuma.
2. Izinto ezijoliswe kuzo: Izinto eziza kufakwa zaziwa ngokuba yi-target. Ezi zifakwa ngaphakathi kwigumbi lokucoca i-vacuum.
3. I-substrate: I-substrate yinto eza kufakwa kuyo ifilimu encinci. Ikwabekwa ngaphakathi kwigumbi lokucoca umoya.
4. Ukuveliswa kwePlasma: Igesi engasebenziyo, edla ngokuba yi-argon, ifakwa kwigumbi. I-voltage ephezulu ifakwa kwindawo ekujoliswe kuyo, nto leyo edala i-plasma (imeko yento equka ii-electron kunye nee-ion ezikhululekileyo).
5. Ukutshiza: Ii-ion ezivela kwi-plasma ziyangqubana nezinto ekujoliswe kuzo, zikhuphe ii-athomu okanye iimolekyuli kwithagethi. Ezi particles emva koko zihamba nge-vacuum zize zifakwe kwi-substrate, zenze ifilimu encinci.
6.Ulawulo: Ubukhulu kunye nokwakheka kwefilimu kunokulawulwa ngokuchanekileyo ngokulungelelanisa iiparameter ezifana namandla asetyenziswa kwindawo ekujoliswe kuyo, uxinzelelo lwegesi engasebenziyo, kunye nobude benkqubo yokutshiza.
–Eli nqaku likhutshwe nguumenzi womatshini wokugquma nge-vacuumGuangdong Zhenhua
Ixesha lokuthumela: Julayi-12-2024