ஸ்பட்டரிங் வெற்றிடப் பூச்சுக்கருவி என்பது ஒரு அடித்தளத்தின் மீது பொருளின் மெல்லிய படலங்களைப் படியவைக்கப் பயன்படும் ஒரு சாதனமாகும். இந்தச் செயல்முறை பொதுவாகக் குறைக்கடத்திகள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் ஒளியியல் மற்றும் மின்னணுப் பயன்பாடுகளுக்கான பல்வேறு வகையான பூச்சுகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அது எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பதற்கான ஒரு அடிப்படைக் கண்ணோட்டம் இதோ:
1. வெற்றிட அறை: மாசுபடுதலைக் குறைப்பதற்கும், படிதல் செயல்முறையின் மீது சிறந்த கட்டுப்பாட்டைப் பெறுவதற்கும், இந்தச் செயல்முறை ஒரு வெற்றிட அறைக்குள் நடைபெறுகிறது.
2. இலக்குப் பொருள்: படியவைக்கப்பட வேண்டிய பொருள் இலக்கு என அழைக்கப்படுகிறது. இது வெற்றிட அறைக்குள் வைக்கப்படுகிறது.
3. அடித்தளம்: அடித்தளம் என்பது மெல்லிய படலம் படியவைக்கப்படும் பொருளாகும். இது வெற்றிட அறைக்குள் வைக்கப்படுகிறது.
4. பிளாஸ்மா உருவாக்கம்: பொதுவாக ஆர்கான் போன்ற ஒரு மந்த வாயு, அறைக்குள் செலுத்தப்படுகிறது. இலக்கிற்கு உயர் மின்னழுத்தம் செலுத்தப்பட்டு, பிளாஸ்மா (தனித்த எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் அயனிகளைக் கொண்ட ஒரு பருப்பொருள் நிலை) உருவாக்கப்படுகிறது.
5. சிதறல்: பிளாஸ்மாவிலிருந்து வரும் அயனிகள் இலக்குப் பொருளுடன் மோதி, அதிலுள்ள அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளைத் தட்டி வெளியேற்றுகின்றன. பின்னர் இந்தத் துகள்கள் வெற்றிடத்தின் வழியே பயணித்து, அடித்தளத்தின் மீது படிந்து ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன.
6. கட்டுப்பாடு: இலக்கிற்கு அளிக்கப்படும் ஆற்றல், மந்த வாயுவின் அழுத்தம் மற்றும் ஸ்பட்டரிங் செயல்முறையின் கால அளவு போன்ற அளவுருக்களைச் சரிசெய்வதன் மூலம், படலத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும்.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: ஜூலை-12-2024