স্পাটারিং ভ্যাকুয়াম কোটার হলো এমন একটি যন্ত্র যা কোনো সাবস্ট্রেটের উপর উপাদানের পাতলা স্তর জমা করতে ব্যবহৃত হয়। এই প্রক্রিয়াটি সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর, সৌর কোষ এবং অপটিক্যাল ও ইলেকট্রনিক অ্যাপ্লিকেশনের জন্য বিভিন্ন ধরণের কোটিং উৎপাদনে ব্যবহৃত হয়। এটি কীভাবে কাজ করে তার একটি প্রাথমিক বিবরণ নিচে দেওয়া হলো:
১. ভ্যাকুয়াম চেম্বার: দূষণ কমাতে এবং জমা হওয়ার প্রক্রিয়ার উপর আরও ভালো নিয়ন্ত্রণ রাখতে এই প্রক্রিয়াটি একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে সম্পন্ন করা হয়।
২. টার্গেট উপাদান: যে উপাদানটি জমা করা হবে, তাকে টার্গেট বলা হয়। এটিকে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে রাখা হয়।
৩. সাবস্ট্রেট: সাবস্ট্রেট হলো সেই উপাদান যার উপর পাতলা ফিল্ম জমা করা হবে। এটিও ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে রাখা হয়।
৪. প্লাজমা উৎপাদন: প্রকোষ্ঠে একটি নিষ্ক্রিয় গ্যাস, সাধারণত আর্গন, প্রবেশ করানো হয়। টার্গেটে একটি উচ্চ ভোল্টেজ প্রয়োগ করা হয়, যা প্লাজমা (পদার্থের একটি অবস্থা যা মুক্ত ইলেকট্রন এবং আয়ন দ্বারা গঠিত) তৈরি করে।
৫. স্পাটারিং: প্লাজমা থেকে আসা আয়নসমূহ টার্গেট পদার্থের সাথে সংঘর্ষ করে এবং টার্গেট থেকে পরমাণু বা অণুকে ছিটকে ফেলে। এরপর এই কণাগুলো ভ্যাকুয়ামের মধ্য দিয়ে ভ্রমণ করে সাবস্ট্রেটের উপর জমা হয়ে একটি পাতলা স্তর তৈরি করে।
৬. নিয়ন্ত্রণ: টার্গেটে প্রয়োগ করা শক্তি, নিষ্ক্রিয় গ্যাসের চাপ এবং স্পাটারিং প্রক্রিয়ার সময়কালের মতো প্যারামিটারগুলো সমন্বয় করার মাধ্যমে ফিল্মের পুরুত্ব এবং গঠন নির্ভুলভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ১২-জুলাই-২০২৪